Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v EREM
Loading...
Date
Authors
Potoma, Jaroslav
Advisor
Referee
Mark
D
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a detekcí signálních elektronů pomocí ionizačního detektoru.Hlavní náplní této práce je porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu s metodou vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků standartních vzorků. Vyhodnocení výhod a nevýhod obou metod.
This work deals with problematics of enviromental scanning electron microscopy and detection of signal electrons by ionization detector.The main goal of this work is to present a comparison of osciloscopical method for evaluation of signal level with method for evaluation of signal level from grayscale of common sample images. Evaluation of advantages and disadvantages of both methods.
This work deals with problematics of enviromental scanning electron microscopy and detection of signal electrons by ionization detector.The main goal of this work is to present a comparison of osciloscopical method for evaluation of signal level with method for evaluation of signal level from grayscale of common sample images. Evaluation of advantages and disadvantages of both methods.
Description
Citation
POTOMA, J. Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (místopředseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (člen)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
doc. Ing. Radek Polanský, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2010-06-15
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s podstatnou částí práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena