Vliv elektronového svazku na tenké vrstvy oxidů
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Bakalárska práca sa zaoberá skúmaním vplyvu elektrónového lúča rastrovacieho elektrónového mikroskopu na povrch vzorky SiO2/Si(100). V práci je stručne popísaná elektrónová mikroskopia a mikroskopia atomárnych síl. Hlavným riešeným problémom je pozorovaná zmena odtieňu pri pozorovaní vzorky SiO2/Si(100) rastrovacím elektrónovým mikroskopom. V práci je zistené, že na povrchu vzorky sa vytvárajú objekty o výške niekoľko nm. Zvyšok práce je potom venovaný meraniu závislosti výšky objektu na rôznych premenných. Merania sú väčšinou založené na selektívnom ožarovaní povrchu vzorky rastrovacím elektrónovým mikroskopom, meraní ožiarených častí pomocou mikroskopu atomárnych síl a vyhodnocovaní v aplikácie Gwyddion.
This bachelor work deals with a study of the influence of electron beam of scanning electron microscope on the surface of the SiO2/Si (100) – sample. In the work the electron and atomic force microscopy briefly described. The main objective of experimental part is to describe variation in the brightness of sample SiO2/Si (100) in Scanning electron microscope images. In this study is found that on the sample surface are created objects few nm high. The rest of the work is then devoted to measuring the dependence of the object’s high on different variables. Experiments are generally based on the selective irradiation of the sample surface by scanning electron microscope, measurement of irradiated parts using atomic force microscope and evaluation in the application Gwyddion.
This bachelor work deals with a study of the influence of electron beam of scanning electron microscope on the surface of the SiO2/Si (100) – sample. In the work the electron and atomic force microscopy briefly described. The main objective of experimental part is to describe variation in the brightness of sample SiO2/Si (100) in Scanning electron microscope images. In this study is found that on the sample surface are created objects few nm high. The rest of the work is then devoted to measuring the dependence of the object’s high on different variables. Experiments are generally based on the selective irradiation of the sample surface by scanning electron microscope, measurement of irradiated parts using atomic force microscope and evaluation in the application Gwyddion.
Description
Citation
KOSTYAL, M. Vliv elektronového svazku na tenké vrstvy oxidů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2010-06-17
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení