Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)cs
but.defenceByly zodpovězeny otázky oponenta.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorCaesar, Radekcs
dc.contributor.refereeMach, Jindřichcs
dc.date.created2018cs
dc.description.abstractHlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. Tento manipulátor má umožnit manipulaci se vzorky v tzv. přípravné komoře, do níž se vzorky vpravují před jejich umístěním do analytické komory. V přípravné komoře probíhají povrchové a jiné úpravy vzorku. V teoretické části jsou popsány některé technologie, užívané v oblasti vakuové techniky, především různé principy měření tlaku a čerpání vzduchu. Dále je práce zaměřena na stručný popis vyvíjeného UHV SEM a metod přípravy vzorků. Praktická část se zabývá samotným návrhem a popisem konstrukce manipulátoru.cs
dc.description.abstractThe main purpose of this thesis is mechanical design of a manipulator for an ultra-high vacuum scanning electron microscope (UHV SEM), being currently developed by TESCAN ORSAY HOLDING a.s. in cooperation with the Institute of physical engineering FME BUT. The manipulator is supposed to be able to handle with specimens in so-called preparation chamber, which the specimens are put in before placing into the analytic chamber. In the preparation chamber the surface finishing and also other operations are made. In the theoretical part some of the technologies used in vacuum engineering, especially various principles of pressure measurement and gas pumping, are described. Besides, the thesis is focused on a brief description of UHV SEM being developed and the methods of specimen preparation. The practical part deals with the concept and the mechanical design of manipulator itself.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationCAESAR, R. Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.cs
dc.identifier.other109776cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/83737
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectultravysoké vakuumcs
dc.subjectUHV SEMcs
dc.subjectdepozicecs
dc.subjectpreparační komoracs
dc.subjectefuzní celacs
dc.subjectmanipulátorcs
dc.subjectzásobník paletekcs
dc.subjectultra-high vacuumen
dc.subjectUHV SEMen
dc.subjectdepositionen
dc.subjectpreparation chamberen
dc.subjecteffusion cellen
dc.subjectmanipulatoren
dc.subjectsample recieveren
dc.titleNávrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskopcs
dc.title.alternativeDesign of manipulator for ultrahigh electron microscopeen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2018-06-21cs
dcterms.modified2018-06-25-06:47:55cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid109776en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 07:53:37en
sync.item.modts2025.01.15 22:14:59en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.4 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
577.16 KB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_109776.html
Size:
8.59 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_109776.html
Download
Collections
2018