Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Jaké zákony zachování musíte použít pokud chcete odvodit kinematický faktor? Projeví se tloušťka substrátu na vyhodnocení experimentu? Co byste mohl říci o electron straggling? | cs |
| but.jazyk | angličtina (English) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Bábor, Petr | en |
| dc.contributor.author | Strapko, Tomáš | en |
| dc.contributor.referee | Duda, Radek | en |
| dc.date.created | 2019 | cs |
| dc.description.abstract | Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v meřených spektrech. Tyto projektily nepřináší užitečnou informaci z dané hloubky. Naproti tomu jednonásobně odražené projektily nesou přesnější informaci o složení a tloušťce vrstev. V této práci vytvořený model se snaží určit příspěvek jednonásobně odražených částic k celkovému tvaru spektra a na základě něj i hloubkový profil vzorku. | en |
| dc.description.abstract | The master's thesis deals with introducing the model which would enable better interpretation of the depth profiles obtained by the LEIS method. The difficulty of the interpretation is caused by the significant contribution of multiple-scattered projectiles to the resulting measured spectra. These projectiles do not provide useful information from respected depth. In contrary, single-scattered projectiles yield more precise information about the composition and the thickness of the layers. The model created in the presented work attempts to determine the contribution of single-scattered particles to the resulting spectral shape and, based on the computation, a depth profile of the sample as well. | cs |
| dc.description.mark | C | cs |
| dc.identifier.citation | STRAPKO, T. Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019. | cs |
| dc.identifier.other | 117580 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/179131 | |
| dc.language.iso | en | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Nízkoenergiový iontový rozptyl | en |
| dc.subject | LEIS | en |
| dc.subject | model jednonásobního odrazu | en |
| dc.subject | TRBS | en |
| dc.subject | Low Energy Ion Scattering | cs |
| dc.subject | LEIS | cs |
| dc.subject | single-scattering model | cs |
| dc.subject | TRBS | cs |
| dc.title | Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS | en |
| dc.title.alternative | Depth profiling of multilayers by LEIS | cs |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2019-06-17 | cs |
| dcterms.modified | 2019-06-20-09:58:40 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 117580 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.27 08:49:04 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 22:23:15 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |