Studium mikrodefektů v Czochralskiho křemíku
| but.committee | doc. Ing. František Šoukal, Ph.D. (předseda) prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (člen) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) prof. Ing. Petr Ptáček, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jaromír Wasserbauer, Ph.D. (člen) doc. Ing. Lucy Vojtová, Ph.D. (člen) Ing. Lukáš Tvrdík (člen) | cs |
| but.defence | Studentka v rámci prezentace práce na téma Studium mikrodefektů v Czochralskiho křemíku nejdříve vysvětlila motivaci své práce a vysvětlila postup přípravy momokrystalu Czochralskiho metodou. Následně vysvětlila způsob formování mikrodefektů. V rámci experimantální části nejdříve vysvětlila principy použitých metod. Po zajímavé a nazorné prezentaci výsledků studentka zhodnotila naměřené výsledky a ukázala možnosti využití těchto výsledků. Poté přešla k otázkám oponenta. 1) Jakým způsobem byly počítané mikrodefekty při OISF testech? 2) Při měření radiálního měrného odporu krystalů silně dopovanými fosforem došlo u délek 34 mm a 250 mm uprostřed krystalu k poklesu měrného odporu, čím by tento pokles mohl být zapříčiněn? 3) U krystalů dopovaných antimonem dochází k překročení specifikace měrného odporu, jakým způsobem by se dalo dosáhnout určených specifikací v celém krystalu, popřípadě jak moc velký dopad to má na finální vlastnosti? Po zopdpovězení otázek oponenta položila komise tyto otázky: 1) Uvažovala jste o obrazové analýze? 2) Jaká je jednotka měrného odporu a jak se získá? 3) Proč se vzorek na závěr přelešťuje? Studntka na všechny otázky výborně odpověděla. | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Chemie a technologie materiálů | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Másilko, Jiří | cs |
| dc.contributor.author | Španělová, Klára | cs |
| dc.contributor.referee | Cába, Vladislav | cs |
| dc.date.created | 2022 | cs |
| dc.description.abstract | Bakalářská práce se zabývá studiem mikrodefektů v Czochralskiho křemíku ve spolupráci s firmou onsemi Rožnov pod Radhoštěm. Hlavním cílem je nalezení poznatků o mikrodefektech v Czochralskiho křemíku a jejich vlivu na vlastnosti polovodičových součástek. Experimentální část pojednává o charakterizaci mikrodefektů v ingotech Czochralskiho křemíku dopovaných B, P a Sb a pěstovaných ve společnosti onsemi. Konkrétně je provedeno měření radiálního měrného odporu pomocí čtyřbodové sondy s následným přepočtem na koncentraci dopantu (dle normy ASTM F 723-99). Je provedeno vyhodnocení radiální a axiální distribuce mikrodefektů v ingotech Czochralskiho křemíku pomocí precipitačního testu a OISF testu. V rámci studia mikrodefektů byla také detekována poloha vakantní-intersticiálního rozhraní. | cs |
| dc.description.abstract | The bachelor's thesis deals with the study of microdefects in Czochralski silicon in cooperation with the company onsemi Rožnov pod Radhoštěm. The main objectiv is to find knowledge about microdefects in Czochralski silicon and their influence on the properties of semiconductor components. The experimental part deals with the characterization of microdefects in Czochralski silicon ingots doped by B, P and Sb and grown in the company onsemi. Specifically, the measurement of radial resistivity is performance using a four-point probe with subsequent conversion to dopant concentration (according to ASTM F 723-99). The radial and axial distribution of microdefects in Czochralski silicon ingots is evaluated using the precipitation test and the OISF test. The position of the vacant-interstitial interface was also detected as part of microdefect study. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | ŠPANĚLOVÁ, K. Studium mikrodefektů v Czochralskiho křemíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2022. | cs |
| dc.identifier.other | 139006 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/206234 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Křemík | cs |
| dc.subject | monokrystal | cs |
| dc.subject | Czochralski metoda | cs |
| dc.subject | mikrodefekty | cs |
| dc.subject | precipitační test | cs |
| dc.subject | OISF test | cs |
| dc.subject | Silicon | en |
| dc.subject | monocrystal | en |
| dc.subject | Czochralski method | en |
| dc.subject | microdefect | en |
| dc.subject | precipitation test | en |
| dc.subject | OISF test | en |
| dc.title | Studium mikrodefektů v Czochralskiho křemíku | cs |
| dc.title.alternative | Study of microdefects in Czochralski silicon | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2022-06-16 | cs |
| dcterms.modified | 2022-06-23-11:00:33 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta chemická | cs |
| sync.item.dbid | 139006 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.16 12:56:08 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 21:08:57 | en |
| thesis.discipline | bez specializace | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálů | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |