Návrh chemickej pasivácie kremíkového povrchu pre meranie doby života minoritných nosičov náboja pri výrobe solárnych článkov

Abstract

Meranie objemovej doby života minoritných nosičov náboja v kremíku je duležité pre kontrolu správnosti výrobného procesu solárných článkov. Táto práca sa zaoberá návrhom pasivačného roztoku, ktorý spĺňa všetky vstupné požiadavkami. Hlavnou úlohou práce je nájsť optimálny roztok pre chemickú pasiváciu, ktorý vyhovuje požiadavkám časovej stability, rýchlosti nábehu pasivačných schopností roztoku, reprodukovateľnosti merania a možnosti dokonalého oplachu zbytkov pasivačného roztoku z kremíkového povrchuThis work deals with an examination of a different solution types for the chemical passivation of a silicon surface. The main purpose of this work is to find optimal solution, which suits the requirements of a time stability and start-up velocity of passivation, reproducibility of the measurements and a possibility of a perfect cleaning of a passivating solution residues from a silicon surface.