Využití laserinterferometru Renishaw pro měření přímosti a rovinosti

Abstract

Tato diplomová práce se zabývá měřením přímosti a rovinnosti a jeho vyhodnocením. K měření je použit laserinterferometr firmy Renishaw. Cílem této práce je naměřit hodnoty přímosti na pojezdu měřícího mikroskopu, dále rozkódovat výpočetní metody vedoucí ke grafům přímosti, přepočítat z naměřených hodnot dle ČSN a porovnat výsledky softwaru a výsledky dosažené dle ČSN. Měření rovinnosti je aplikováno na desce před lapováním (povrchová úprava) a po měn a tyto výsledky jsou vzájemně porovnány.This diploma dissertation deals with straightness and flatness measurement and data evaluation. For all measurements laserinterferometer Renishaw has been used. The main purpose of this diploma work is to get values of straightness on the travel of microscope, decrypt computing methods leading to graphs of straightness, re-count it by ČSN standards and compare both sets of graphs. Flatness measurement is performed on a desk before and after lapping and these results are compared.