Polovodičové senzory plynů na bázi oxidu ciničitého

Abstract

Práce se zabývá polovodičovými senzory plynů, jejichž aktivní vrstva je tvořena oxidem ciničitým (SnO2). V první části jsou rozděleny senzory plynů dle principu jejich funkčnosti. Dále je popsán princip fungování polovodičových SnO2 senzorů a možné modifikace této aktivní vrstvy. Praktická část komplexně shrnuje senzor plynů od jeho návrhu až po samotnou výrobu, testování a charakterizaci. Při konstrukci senzoru bylo využito několika mikroelektronických technologií, jako je například tenkovrstvá, tlustovrstvá, LTCC, spray-coating nebo wire-bonding technologie. V samotném závěru jsou shrnuty vlastnosti vyrobených senzorů a rozdíly ve funkčnosti modifikovaného a nemodifikovaného senzoru.This project is aimed at semiconductive gas sensors based on tin dioxide. In the first part, gas sensors are divided depending on their principal of functionality. Next part is about functionality of tin dioxide gas sensors and the possibilities of active layer modification. Experimental describes gas sensor from its drawing until construction, testing and characterization. Several microelectronic technologies such as thin-film, thick-film, LTCC, spray-coating or wire-bonding were used for constructing the sensor. In the last part properties of gas sensors and differences in functionality between modified and unmodified gas sensor are summarized.