Tvorba magnetických nanostruktur pomocí EBID a optimalizace jejich chemického složení a morfologie

Abstract

Tato diplomová práce se zabývá depozicí kobaltových nanostruktur pomocí metody EBID. V práci je nejprve shrnuto teoretické pozadí procesu depozice elektronovým svazkem. Experimentální část se věnuje optimalizaci procesu depozice analýzou vlivu expozičních parametrů na tvar výsledné nanostruktury. Ty jsou analyzovány pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM). Na základě získaných dat jsou určeny vhodné parametry depozice, pomocí kterých jsou připraveny funkční třídimenzionální struktury s důrazem na tvorbu kulových struktur. U připravených struktur požadovaných geometrií je dále ověřeno jejich chemické složení pomocí rentgenové spektroskopie EDX a magnetické vlastnosti pomocí mikroskopie magnetických sil (MFM) a magnetooptického Kerrova mikroskopu.This master's thesis deals with deposition of cobalt nanostructures using Electron Beam Induced Depositon (EBID). The thesis firstly describes theoretical background regarding EBID. In the following experimental part, the deposition process is optimized via analysis of exposition parameters and their influence on the final shape of nanostructures. These are analyzed via Atomic Force Microscopy (AFM). Optimized exposure parameters are then applied to the deposition of functional 3-dimensional nanostrucutres. In particular, the deposition of cobalt spheres. The elemental composition is analyzed by the means of element composition using Energy-dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) and the nanostructures of desired morphologies are studied with Magnetic Force Microscopy (MFM) and Magneto-Optical Kerr Microscope).