Tvorba magnetických nanostruktur pomocí EBID a optimalizace jejich chemického složení a morfologie
Loading...
Date
Authors
Vyroubal, Ondřej
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá depozicí kobaltových nanostruktur pomocí metody EBID. V práci je nejprve shrnuto teoretické pozadí procesu depozice elektronovým svazkem. Experimentální část se věnuje optimalizaci procesu depozice analýzou vlivu expozičních parametrů na tvar výsledné nanostruktury. Ty jsou analyzovány pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM). Na základě získaných dat jsou určeny vhodné parametry depozice, pomocí kterých jsou připraveny funkční třídimenzionální struktury s důrazem na tvorbu kulových struktur. U připravených struktur požadovaných geometrií je dále ověřeno jejich chemické složení pomocí rentgenové spektroskopie EDX a magnetické vlastnosti pomocí mikroskopie magnetických sil (MFM) a magnetooptického Kerrova mikroskopu.
This master's thesis deals with deposition of cobalt nanostructures using Electron Beam Induced Depositon (EBID). The thesis firstly describes theoretical background regarding EBID. In the following experimental part, the deposition process is optimized via analysis of exposition parameters and their influence on the final shape of nanostructures. These are analyzed via Atomic Force Microscopy (AFM). Optimized exposure parameters are then applied to the deposition of functional 3-dimensional nanostrucutres. In particular, the deposition of cobalt spheres. The elemental composition is analyzed by the means of element composition using Energy-dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) and the nanostructures of desired morphologies are studied with Magnetic Force Microscopy (MFM) and Magneto-Optical Kerr Microscope).
This master's thesis deals with deposition of cobalt nanostructures using Electron Beam Induced Depositon (EBID). The thesis firstly describes theoretical background regarding EBID. In the following experimental part, the deposition process is optimized via analysis of exposition parameters and their influence on the final shape of nanostructures. These are analyzed via Atomic Force Microscopy (AFM). Optimized exposure parameters are then applied to the deposition of functional 3-dimensional nanostrucutres. In particular, the deposition of cobalt spheres. The elemental composition is analyzed by the means of element composition using Energy-dispersive X-ray Spectroscopy (EDX) and the nanostructures of desired morphologies are studied with Magnetic Force Microscopy (MFM) and Magneto-Optical Kerr Microscope).
Description
Keywords
Citation
VYROUBAL, O. Tvorba magnetických nanostruktur pomocí EBID a optimalizace jejich chemického složení a morfologie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
Date of acceptance
2016-06-20
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení