Dielektrické metapovrchy jako moderní optické prvky
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
but.defence | Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Příčina minima transmisivity pro velikost struktur 150 nm. Studentka otázku odpověděla. | cs |
but.jazyk | angličtina (English) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Ligmajer, Filip | en |
dc.contributor.author | Rovenská, Katarína | en |
dc.contributor.referee | Kolařík, Vladimír | en |
dc.date.created | 2020 | cs |
dc.description.abstract | Vďaka ich vysokej verzatilite a nízkej priestorovej náročnosti sú metapovrchy sľubným nasledovníkom tradičných optických komponentov. Táto práca sa upriamuje na metapovrchy, ktoré môžu nahradiť polvlnné doštičky a difraktívne deliče zväzku. Práca prezentuje dve stratégie výroby nanoštruktúr z oxidu titaničitého s vysokým pomerom strán -- jedna používa reaktívne iónové leptanie vrstvy TiO2 skrz kovovú masku, kým druhá používa štrukturovaný elektrónový rezist ako formu pre depozíciu atomárnych vrstiev TiO2. V závere práce sú charakterizované a analyzované optické vlastnosti vyrobených štruktúr, predovšetkým ich fázový posun a transmisivita. | en |
dc.description.abstract | Thanks to their high versatility and low spatial demands, metasurfaces are promising as replacements of traditional optical components. Within this thesis, attention is brought mostly to the metasurfaces which can replace half wave plates and diffractive beam splitters. Two strategies for fabrication of high-aspect ratio nanostructures from titanium dioxide are demonstrated -- one employing reactive ion etching of TiO2 layer through a metallic hardmask, the other using a patterned electron resist as a mold for atomic layer deposition of TiO2. The optical properties of the fabricated structures, such as phase shift and transmissivity, are also characterized and analyzed. | cs |
dc.description.mark | A | cs |
dc.identifier.citation | ROVENSKÁ, K. Dielektrické metapovrchy jako moderní optické prvky [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020. | cs |
dc.identifier.other | 125233 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/192378 | |
dc.language.iso | en | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | metapovrchy | en |
dc.subject | TiO2 | en |
dc.subject | výroba nanoštruktúr | en |
dc.subject | fázové merania | en |
dc.subject | metasurfaces | cs |
dc.subject | TiO2 | cs |
dc.subject | nanostructure fabrication | cs |
dc.subject | phase measurements | cs |
dc.title | Dielektrické metapovrchy jako moderní optické prvky | en |
dc.title.alternative | Dielectric metasurfaces as modern optical components | cs |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | masterThesis | en |
dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2020-07-13 | cs |
dcterms.modified | 2020-07-15-15:55:34 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 125233 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.27 08:52:45 | en |
sync.item.modts | 2025.01.17 10:11:10 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Inženýrský | cs |
thesis.name | Ing. | cs |