Dielektrické metapovrchy jako moderní optické prvky

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Příčina minima transmisivity pro velikost struktur 150 nm. Studentka otázku odpověděla.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorLigmajer, Filipen
dc.contributor.authorRovenská, Katarínaen
dc.contributor.refereeKolařík, Vladimíren
dc.date.created2020cs
dc.description.abstractVďaka ich vysokej verzatilite a nízkej priestorovej náročnosti sú metapovrchy sľubným nasledovníkom tradičných optických komponentov. Táto práca sa upriamuje na metapovrchy, ktoré môžu nahradiť polvlnné doštičky a difraktívne deliče zväzku. Práca prezentuje dve stratégie výroby nanoštruktúr z oxidu titaničitého s vysokým pomerom strán -- jedna používa reaktívne iónové leptanie vrstvy TiO2 skrz kovovú masku, kým druhá používa štrukturovaný elektrónový rezist ako formu pre depozíciu atomárnych vrstiev TiO2. V závere práce sú charakterizované a analyzované optické vlastnosti vyrobených štruktúr, predovšetkým ich fázový posun a transmisivita.en
dc.description.abstractThanks to their high versatility and low spatial demands, metasurfaces are promising as replacements of traditional optical components. Within this thesis, attention is brought mostly to the metasurfaces which can replace half wave plates and diffractive beam splitters. Two strategies for fabrication of high-aspect ratio nanostructures from titanium dioxide are demonstrated -- one employing reactive ion etching of TiO2 layer through a metallic hardmask, the other using a patterned electron resist as a mold for atomic layer deposition of TiO2. The optical properties of the fabricated structures, such as phase shift and transmissivity, are also characterized and analyzed.cs
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationROVENSKÁ, K. Dielektrické metapovrchy jako moderní optické prvky [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.cs
dc.identifier.other125233cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/192378
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectmetapovrchyen
dc.subjectTiO2en
dc.subjectvýroba nanoštruktúren
dc.subjectfázové meraniaen
dc.subjectmetasurfacescs
dc.subjectTiO2cs
dc.subjectnanostructure fabricationcs
dc.subjectphase measurementscs
dc.titleDielektrické metapovrchy jako moderní optické prvkyen
dc.title.alternativeDielectric metasurfaces as modern optical componentscs
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2020-07-13cs
dcterms.modified2020-07-15-15:55:34cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid125233en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 08:52:45en
sync.item.modts2025.01.17 10:11:10en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
10.09 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_125233.html
Size:
8.42 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_125233.html
Collections