Optimalizace procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného scattermeterem

Abstract

Tato práce se zabývá optimalizací procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného pomocí scatterometru. V práci je popsáno několik metod použitelných k nalezení souboru pozic nepřekrývajících se kruhových detektorů na povrchu polokoule (i koule). Výsledky práce jsou aplikovány na samotný meřicí přístroj a je ukázána shoda experimentálních výsledku získaných před i po optimalizaci. Výhodu nového uspořádání lze nalézt především v převedení dřívejšího způsobu měření na soubor nezávislých měření, což má význam pro matematické zpracování výsledků.This work concerns with optimizing the measurement procedure of the optical radiation scattered from a solid surface performed by the scattermeter. The major part is devoted to the description of methods of finding set of positions of non-overlapping circular detectors on a surface of a hemisphere (or a sphere). Results of the optimization are applied to the measurement device. The agreement of the previous and new measurement procedures is shown in the end of this work. The crucial advantage of the new procedure is that the new set of point allows us to treat the measured values independently. This is useful for the mathematical processing of the results.