Charakterizace nanostruktur mikroskopií blízkého pole (SNOM)

Abstract

Bakalářská práce se zabývá charakterizací nanostruktur mikroskopií blízkého pole. Uvádí fyzikální principy, na kterých tato metoda pracuje a popisuje experimentální uspořádání mikroskopie SNOM. Dále se zabývá charakterizací litografických struktur připravených metodou fokusovaného iontového svazku a stanovením optického koeficientu transmise.The bachelor theses is aimed to the characterizaton of nanostructures by scanning near-field optical microscopy (SNOM). There is a presentation of physical principles of SNOM and the description of the experimental set-up of the microscopy. The experimental part discusses the results of determination of transmission coefficient and characterizaton of the lithography structures prepared by focused ion beam etching method.