Scintilační detektor SE pro EREM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM). Využití této metody umožňuje sledování nevodivých a vlhkých vzorků bez potřeby speciálních úprav vysoušením a pokovováním. Princip spočívá v použití vyššího tlaku v komoře vzorku, pohybujícího se v rozsahu 100 až 2000 Pa. Plyn v komoře vzorku však omezuje možnosti detekce signálu. Cílem této práce je prozkoumání možnosti ovlivnění detekce signálu sekundárních elektronů pomocí elektrostatického pole. Elektrostatické pole bylo realizováno soustavou čtyř elektrod umístěných před ústí scintilačního detektoru a mělo za úkol ovlivňovat dráhy sekundárních elektronů směrem do komory detektoru. Optimalizace napětí na elektrodách byla provedena pomocí simulačního programu SIMION. Výsledky simulací byly experimentálně ověřeny na laboratorním EREM.
This project deals with the theme of environmental scanning electron microscopy (EREM). This method allows the examination of insulators and wet specimens without pretreatment and modification like drying and metallization. The principle of this method consists in using higher pressure in a specimen chamber. The pressure is within the range of 100 – 200 Pa. However, the pressure in the specimen chamber restricts the signal detection interference. The objective of the work is to explore the possibility of interference in secondary electron route detection by way of electrostatic field. The electrostatic field was realized with the system consisting of four electrodes located in front of the scintillation detector. It should have interfered the secondary electron´s trajectory to the detector chamber. The optimization of voltage on the electrodes was made by simulation program called SIMION. The simulation results were experimentally verified with laboratory EREM.
This project deals with the theme of environmental scanning electron microscopy (EREM). This method allows the examination of insulators and wet specimens without pretreatment and modification like drying and metallization. The principle of this method consists in using higher pressure in a specimen chamber. The pressure is within the range of 100 – 200 Pa. However, the pressure in the specimen chamber restricts the signal detection interference. The objective of the work is to explore the possibility of interference in secondary electron route detection by way of electrostatic field. The electrostatic field was realized with the system consisting of four electrodes located in front of the scintillation detector. It should have interfered the secondary electron´s trajectory to the detector chamber. The optimization of voltage on the electrodes was made by simulation program called SIMION. The simulation results were experimentally verified with laboratory EREM.
Description
Keywords
Environmentální rastrovací elektronový mikroskop, primární elektrony, zpětně odražené elektrony, sekundární elektrony, detekce signálu, scintilační detektor, Environmental scanning electron microscopy, primary electrons, backscattered electrons, secondary electrons, signal detection, scintillation detector
Citation
TIHLAŘÍKOVÁ, E. Scintilační detektor SE pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda)
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (místopředseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-08
Defence
1. Výsledky simulací vlivu napětí na elektrodách Z1 až Z4 na intenzitu detekovaného signálu detektorem (viz. kapitola 6.3) ukazují, že mezi nejvhodnější kombinace patří, mimo jiných parametrů, připojení elektrody Z1 na napětí-50V. Experimentální výsledky však naznačují (viz. kapitola 7.3), že vyšší úroveň signálu je detekována při napětí-20V na Z1. Čím si vysvětlujete rozdíl mezi výsledky simulace a výsledky experimentu.
2. Jaký jiný scintilační monokrystal, než YAG:Ce3+, by bylo možné použít ve scintilačním detektoru SE a za jakých podmínek by tento jiný scintilační monokrystal zvýšil celkovou detekční účinnost scintilačního detektoru SE.
3: Jaký je význam scintilátoru.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení