Transparentní elektricky vodivé vrstvy oxidu cíničitého připravené z anorganických prekurzorů

Abstract

Práce se zaměřuje na přípravu transparentních elektricky vodivých vrstev oxidu cíničitého. Nejprve byl syntetizován zásobní sol na bázi anorganických prekurzorů. Na substráty bylo naneseno spin coatingem nebo materiálovým tiskem malé množství solu za vzniku tenkých vrstev. Modifikací solu přídavkem dalších látek byly připraveny specifické ovrstvovací kompozice za účelem optimalizace depozice a výsledných vlastností vrstev. Vybrané vzorky byly analyzovány mechanickou profilometrií, XRD, SEM a XPS.The thesis focuses on the preparation of transparent electrically conductive tin oxide layers. First, a stock sol based on inorganic precursors was synthetized. Substrates were coated with a small amount of sol by spin coating or material printing to form thin layers. By modifying the solution by adding additional substances, specific coating compositions were prepared to optimize the deposition and the resulting layer properties. Selected samples were analysed by mechanical profilometry, XRD, SEM and XPS.