Korelativní tomografie
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen) prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Relativistický vztah pro vlnovou délku částice. Student otázky zodpověděl. | cs |
| but.jazyk | angličtina (English) | |
| but.program | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Bábor, Petr | en |
| dc.contributor.author | Vařeka, Karel | en |
| dc.contributor.referee | Touš,, Jan | en |
| dc.date.created | 2021 | cs |
| dc.description.abstract | Předložená diplomová práce se zabývá korelativním přístupem multimodální analýzy struktur prokovování s různým rozlišením. Výzkum je součástí mezinárodního projektu týkajícího se charakterizace poruch zmíněných struktur, které jsou implementovány v polovodičových zařízeních. Kombinace korelativní mikroskopie a tomografie technikami NanoXCT, FIB-SEM (EDS), FIB-SIMS a AFM byla navržena k zavedení opakovatelného pracovního postupu. Tomografie fokusovaným iontovým svazkem je metoda přesného odprašování v řezech, která mimo jiné v každém průřezu získává cenné snímky s vysokým rozlišením (FIB-SEM) nebo mapy chemického složení (FIB-SIMS). Následující transformace obrazu umožňuje identifikaci defektů jako funkci hloubky ve struktuře. Práce dále věnuje pozornost metodám sjednocení obrazů za účelem optimální prezentace získaných dat. | en |
| dc.description.abstract | The presented master’s thesis deals with a correlative approach towards multiscale and multimodal analysis of through-silicon-via structures. The research is part of an international project concerning a failure characterization of said structures and implemented semiconductor devices. Correlative microscopy and tomography techniques of NanoXCT, FIB-SEM (EDS), FIB-SIMS, and AFM were proposed to establish a workflow of measurements. Focused ion beam tomography is a method of precise serial sectioning and obtaining valuable high-resolution images (FIB-SEM) or chemical composition maps (FIB-SIMS) at each cross-section. The following image registration shows the possibility of identifying defects as a function of structure depth. Additionally, the thesis outlines methods of image fusion of high-resolution and spectral images to most appropriately demonstrate the obtained data. | cs |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | VAŘEKA, K. Korelativní tomografie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2021. | cs |
| dc.identifier.other | 133055 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/197825 | |
| dc.language.iso | en | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | korelativní mikroskopie | en |
| dc.subject | korelativní tomografie | en |
| dc.subject | FIB | en |
| dc.subject | SIMS | en |
| dc.subject | SEM | en |
| dc.subject | EDS | en |
| dc.subject | AFM | en |
| dc.subject | CT | en |
| dc.subject | sjednocení obrazu | en |
| dc.subject | TSV | en |
| dc.subject | correlative microscopy | cs |
| dc.subject | correlative tomography | cs |
| dc.subject | FIB | cs |
| dc.subject | SIMS | cs |
| dc.subject | SEM | cs |
| dc.subject | EDS | cs |
| dc.subject | AFM | cs |
| dc.subject | CT | cs |
| dc.subject | image fusion | cs |
| dc.subject | TSV | cs |
| dc.title | Korelativní tomografie | en |
| dc.title.alternative | Correlative tomography | cs |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2021-06-14 | cs |
| dcterms.modified | 2021-06-21-08:20:55 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 133055 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.27 10:32:17 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.17 14:47:45 | en |
| thesis.discipline | bez specializace | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |