Diagnostika a optimalizace parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá stanovením základních parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci fokusovaného iontového svazku. Dále se práce zabývá hledáním vhodných provozních parametrů iontového děla pro depozici ultratenkých vrstev iontovým svazkem s nově zabudovaným filtrem. Součástí práce je také návrh a realizace Faradayovy sondy pro měření proudových profilů fokusovaného iontového svazku.
This bachelor thesis deals with measurement of the basic parameters of Wien filter for mass separation of ion focused beam. One part of the thesis is finding the right operational parameters of the ion gun for deposition of ultra-thin films with redesigned Wien filter. The next part of the thesis deals with a design and realization of a Faraday cup for measurement of the current density profiles of the focused ion beam.
This bachelor thesis deals with measurement of the basic parameters of Wien filter for mass separation of ion focused beam. One part of the thesis is finding the right operational parameters of the ion gun for deposition of ultra-thin films with redesigned Wien filter. The next part of the thesis deals with a design and realization of a Faraday cup for measurement of the current density profiles of the focused ion beam.
Description
Citation
JOCH, V. Diagnostika a optimalizace parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2009-06-18
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení