Diagnostika a optimalizace parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá stanovením základních parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci fokusovaného iontového svazku. Dále se práce zabývá hledáním vhodných provozních parametrů iontového děla pro depozici ultratenkých vrstev iontovým svazkem s nově zabudovaným filtrem. Součástí práce je také návrh a realizace Faradayovy sondy pro měření proudových profilů fokusovaného iontového svazku.This bachelor thesis deals with measurement of the basic parameters of Wien filter for mass separation of ion focused beam. One part of the thesis is finding the right operational parameters of the ion gun for deposition of ultra-thin films with redesigned Wien filter. The next part of the thesis deals with a design and realization of a Faraday cup for measurement of the current density profiles of the focused ion beam.