Měření tloušťky vrstev

Abstract

Tato práce popisuje metody měření tenkých vrstev na kovových a nekovových materiálech. Popisuje problematiku jednotlivých metod a jejich fyzikální principy. Zabývá se nejnovějšími technologiemi (SIDSP), které by měli nahradit analogové měřící systémy používající magneticko-indukční metodu a metodu s vířivými proudy. Jsou v ní popsány výhody destruktivních mikroskopických metod, nedestruktivních ultrazvukových metod a jejich porovnání. Závěr práce je věnován experimentálnímu měření tloušťky tenkých vrstev a jeho statistickému zpracování.This thesis describe method for layer thickness measurement for metallic and nonmetallic materials. Describe problems of these methods and their physical principles. Thesis deal with the newest technologies (SIDSP), which take the place of analog measuring systems using magnetic induction technique and inductive gaging technique. Thesis contains initiatives of destructive microscopic technique, nondestructive ultrasounds methods and their compare. In the end of the project is decribed experimental layer thickness measurement and its statistical process.