Piezoelektrické rezonátory MEMS pro senzorické aplikace

Simple item page
but.committeedoc. Ing. Petr Fiedler, Ph.D. (předseda) RNDr. Ladislav Mareček, CSc. (místopředseda) doc. Ing. Roman Šotner, Ph.D. (člen) Ing. Michal Řezníček, Ph.D. (člen) Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a odpověděl na otázky komise. 1) Dokázal byste odhadnout vliv mechanického pnutí na hodnotu rezonační frekvence struktury kantileveru a popište možné postupy minimalizace mechanického pnutí. Student odpověděl.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorGablech, Imrichcs
dc.contributor.authorKlempa, Jaroslavcs
dc.contributor.refereeSvatoš, Vojtěchcs
dc.date.accessioned2019-05-17T14:26:37Z
dc.date.available2019-05-17T14:26:37Z
dc.date.created2017cs
dc.description.abstractTato práce se věnuje základním postupům a procesům při výrobě mikroelektromechanických systémů. Pozornost je věnována materiálovým vlastnostem, depozičním, litografickým a obráběcím procesům. Dále jsou v práci popsány základní principy a aplikace piezoelektrických rezonančních struktur. Praktická část se věnuje simulaci rezonátorů pomocí metody konečných prvků v simulačním prostředí ANSYS® Workbench, jejich výrobě a ověření funkčnosti a přesnosti simulací.cs
dc.description.abstractBasic principles and processes used during fabrication of microelectromechanical systems are presented in this work. This thesis is focused on material properties, deposition, lithographic and micromachining processes. Fundamental principles and applications of piezoelectric resonant structures are described as well. Final part of this work is devoted to simulation of resonant beams using FEM method in ANSYS® Workbench, practical fabrication and characterization of piezoelectric MEMS resonators.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationKLEMPA, J. Piezoelektrické rezonátory MEMS pro senzorické aplikace [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2017.cs
dc.identifier.other102981cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/68114
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectMEMScs
dc.subjectpiezoelektřinacs
dc.subjectrezonátorcs
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectmikroobráběnícs
dc.subjectrezonanční frekvencecs
dc.subjectMEMSen
dc.subjectpiezoelectricityen
dc.subjectresonatoren
dc.subjectthin filmsen
dc.subjectmicromachiningen
dc.subjectresonant frequencyen
dc.titlePiezoelektrické rezonátory MEMS pro senzorické aplikacecs
dc.title.alternativePiezoelectric MEMS resonators for sensing applicationsen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2017-06-19cs
dcterms.modified2017-06-21-07:39:04cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid102981en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.23 01:00:02en
sync.item.modts2021.11.22 23:54:49en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.55 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
Posudek-Vedouci prace-posudek_vedouciho.pdf
Size:
302.44 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek-Vedouci prace-posudek_vedouciho.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_102981.html
Size:
6.21 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_102981.html
Download
Collections
2017