Konstrukce nízkoteplotních ultravakuových rastrovacích sondových mikroskopů

Abstract

Předkládaná práce se zabývá vývojem rastrovacích sondových mikroskopů. Jsou specifikovány mechanické požadavky na mikroskop pro měření metodou rastrovací tunelovací mikroskopie (STM) a mikroskopie atomárních sil (AFM) v prostředí ultra vysokého vakua (UHV) a proměnných teplot. Jsou diskutována konstrukční řešení dvou {navržených} mikroskopů a je popsána jejich řídicí elektronika. Zvláštní kapitola je věnována popisu lineárních piezomanipulátorů a konstrukčnímu řešení navržených prototypů.This thesis deals with the development of scanning probe microscopes. Mechanical requirements for microscopes using measuring methods of scanning tunneling microscopy (STM) and atomic force microscopy (AFM) under enviroments of an ultrahigh vacuum (UHV) and variable temperatures are specified. Mechanical designs of two microscopes are discussed and their control electronics described. A special chapter is devoted to description of linear piezo manipulators and mechanical design of these prototypes.