Kapacitní senzor v nízkoteplotní keramice
Loading...
Date
Authors
Symerský, Tomáš
ORCID
Advisor
Referee
Mark
D
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Bakalářská práce pojednává o teoretických poznatcích základních materiálů, a to především o keramice nízkých teplot, která umožňuje vytváření vícevrstvých struktur. Při vytváření těchto struktur však vznikají různé defekty, zejména v oblasti dutin a mikrokanálků. V této práci byly proto řešeny různé postupy, které vedly k odstranění těchto deformací. Dále se zabývá kapacitními snímači a technologiemi, kterými lze tyto snímače realizovat. Ze získaných poznatků byl navržen a realizován kapacitní snímač tlaku a průtoku v keramice nízkých teplot. Snímač tlaku byl proměřován při zatížení ve frekvenčním pásmu, zatímco snímač průtoku byl testován na různé látky.
This bachelor thesis deals with theoretical knowledge of basic materials especially of a low-temperature ceramics, which enables creating multi-layer structures. Different defects occur by forming these structures, especially in the area of cavernas and micro-tubules. This thesis uses different methods which lead to an elimination of these defects. The thesis also deals with techniques which can be used to a realization of these sensors. Achieved knowledge helped to draft and realize the capacity sensor of flow and pressure in a low-temperature ceramics. The pressure sensor was tested by the load in the frequency spectrum, while the flow sensor was tested for different substances.
This bachelor thesis deals with theoretical knowledge of basic materials especially of a low-temperature ceramics, which enables creating multi-layer structures. Different defects occur by forming these structures, especially in the area of cavernas and micro-tubules. This thesis uses different methods which lead to an elimination of these defects. The thesis also deals with techniques which can be used to a realization of these sensors. Achieved knowledge helped to draft and realize the capacity sensor of flow and pressure in a low-temperature ceramics. The pressure sensor was tested by the load in the frequency spectrum, while the flow sensor was tested for different substances.
Description
Keywords
Anorganické materiály, keramika nízkých teplot, tlustovrstvá technologie, tenkovrstvá technologie, vícevrstvé struktury, kapacitní snímač tlaku, kapacitní snímač průtoku, Inorganic materials, low temperature co-fired ceramic, hick-film technology, thin-film technology, multiply structures, capacitive sensor pressure, capacitive sensor flow
Citation
SYMERSKÝ, T. Kapacitní senzor v nízkoteplotní keramice [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
prof. Ing. Miroslav Husák, CSc. (místopředseda)
Ing. Jan Prášek, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc. (člen)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-12
Defence
Otázky oponenta
1. Jak si vysvětlujete výrazné zvýšení kapacity tlakového senzoru při navýšení zatížení na 30g?
2. Proč jste měřil závislost kapacity senzoru na frekvenci?
Otázky komise
1. Proč se měnila kapacita senzoru v závislosti na frekvenci?
2. Specifikujte Vaší samostatnou práci na vzorku.
3. Ze které strany byla přiložena zátěž ke vzorku?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení