Příprava mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorŠamořil, Tomášcs
dc.contributor.authorTěšík, Jancs
dc.contributor.refereeUrbánek, Michalcs
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractSelektivní leptání je v současnosti velmi používanou metodou pro přípravu mikro- a nanostruktur. Tato bakalářská práce se zabývá principy těchto leptacích metod, jejich aplikacemi a také možnostmi suchého a mokrého leptání na Ústavu fyzikálního inženýrství. V experimentální části se věnuje přípravě leptacích masek k zajištění selektivity leptání a následně tvorbě předem definovaných mikro- a nanostruktur. Z výsledků byly stanoveny důležité parametry, např. rychlosti leptání Si, selektivitu masek atd. Dále byla porovnána vhodnost použitých způsobů leptání a krycích masek.cs
dc.description.abstractThe selective etching is currently very widely used method for the preparation of micro- and nanostructures. This thesis deals with the principles of the etching methods, their applications and also the possibilities of dry and wet etching at the Institute of Physical Engineering. The experimental part is devoted to the preparation of the etching masks to ensure etching selectivity and to the preparation of pre-defined micro- and nanostructures. Important parameters were determined from the results, e.g. Si etch rate, selectivity of the masks etc. Further, the suitability of the used methods and etching masks were compared.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationTĚŠÍK, J. Příprava mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other83525cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/41604
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectLeptánícs
dc.subjectmokré leptánícs
dc.subjectsuché leptánícs
dc.subjectFIBcs
dc.subjectaplikace leptánícs
dc.subjectelektronová litografiecs
dc.subjectleptací maskacs
dc.subjectrezistcs
dc.subjectkřemíkcs
dc.subjectHSQcs
dc.subjectKOHcs
dc.subjectTMAHcs
dc.subjectEtchingen
dc.subjectwet etchingen
dc.subjectdry etchingen
dc.subjectFIBen
dc.subjectetching applicationsen
dc.subjectelectron beam litographyen
dc.subjectetching masken
dc.subjectresisten
dc.subjectsiliconeen
dc.subjectHSQen
dc.subjectKOHen
dc.subjectTMAHen
dc.titlePříprava mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metodcs
dc.title.alternativeFabrication of micro- and nanostructures by different etching methodsen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-25cs
dcterms.modified2015-06-25-14:35:15cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid83525en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 07:11:12en
sync.item.modts2025.01.15 19:13:00en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.35 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_83525.html
Size:
9.1 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_83525.html
Download
Collections
2015