TĚŠÍK, J. Příprava mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.
Práce se zabývá problematikou přípravy mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod. První kapitola je tvořena rešeršní studií, ve které jsou popsány základní principy a aplikace suchého či mokrého leptání. Zároveň jsou zde uvedeny metody dostupné v laboratořích Ústavu fyzikálního inženýrství. Přípravě leptacích masek pomocí elektronové litografie je věnována pozornost v druhé kapitole. Následující kapitola je zaměřena na vlastní experimenty prováděné v zázemí ÚFI. Je zde popsána optimalizace přípravy dvou typů masek pomocí EBL a následně i samotného selektivního suchého, resp. mokrého leptání. V závěru jsou vyhodnoceny a porovnány vlastnosti použitých typů leptání a vliv jejich výběru na tvar výsledné struktury, úroveň podleptání masky, apod. Dosažené výsledky budou užitečné nejen pro studentovo navazující studium, ale i pro další studenty a spolupracovníky z Ústavu fyzikálního inženýrství. Vzhledem k pracovitosti studenta a jeho velmi zajímavým dosaženým výsledkům, navrhuji ohodnotit jeho práci stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | B |
Předložená bakalářská práce pana Jana Těšíka se zabývá přípravou mikro- a nanostruktur pomocí různých leptacích metod. Práce je přehledně rozdělena do tří částí, které reflektují jednotlivé cíle zadání. První částí je rešeršní studie, kde autor přehledně klasifikuje a poté podrobněji popisuje jednotlivé leptací procesy. Obsah této části s poměrně velkým množství citací poukazuje na autorův dobrý přehled o studované problematice. V druhé kapitole je čtenář stručně seznámen s principy přípravy leptacích masek pomocí elektronové litografie. Vlastní výsledky v experimentální části jsou popsány poměrně dobře. Autor se při jejich získání musel seznámit s řadou nejrůznějších technik použitých při přípravě i následné analýze vzorků (elektronová a iontová litografie, iontové naprašování a leptání, chemické leptání, elektronová mikroskopie a mikroskopie atomárních sil). Velký počet testovaných leptacích postupů vypovídá o pracovitosti autora. Zde ovšem musím vytknout jistou nepřehlednost této části, kdy autor ukazuje řadu výsledků (6 stran na konci kapitoly) pouze ve formě snímků z elektronového mikroskopu s málo vypovídajícím popiskem pod obrázkem. Pro čtenáře je velmi obtížné sledovat, jaké experimenty byly provedeny a jaké závěry byly učiněny. Přesunutí části informací ze závěru přímo do kapitoly s experimenty by přehlednosti práce velmi pomohlo. Po formální stránce je práce zpracována velmi pečlivě, jazyková úroveň je velmi dobrá a množství překlepů minimální.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 83525