Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorPáleníček, Michalcs
dc.contributor.refereeMach, Jindřichcs
dc.date.accessioned2019-05-17T12:15:22Z
dc.date.available2019-05-17T12:15:22Z
dc.date.created2010cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena na popis stávající depoziční komory a její princip. Největší část práce se zabývá popisem návrhů aparatury pro zakládání vzorků. První návrh, od kterého se opustilo, je popsán jen stručně, u druhého návrhu jsou rozepsány jednotlivé kroky a řešení. V práci je i jednoduchý návod na zakládání vzorků. Na závěr jsou prezentovány výsledky simulací chladícího sytému vzorků a průhybu magnetické tyče.cs
dc.description.abstractThis thesis deals with concept and realization of device which allows loading without air intake. Vacuum technology and its theoretical bases are discussed as well. Moreover the thesis is based on description of the current deposition chamber and its principles. The main part deals with the description of the concepts of lock and load systems. The first concept that has not been realized is described just briefly. The second one is thorough with description of the individual solutions and methods. The work also contains simple instructions how to install the specimen. At the end are described some outputs of simulations that have been done to comprehend and solve any problems that might occur as specimen holder cooling and deflection of magnetic rod.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationPÁLENÍČEK, M. Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.cs
dc.identifier.other29903cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/23148
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectIONTOVÉ NAPRAŠOVÁNÍcs
dc.subjectVAKUOVÉ ZAKLÁDÁNÍcs
dc.subjectVAKUOVÝ TRANSPORTcs
dc.subjectZAKLÁDACÍ SYSTÉMYcs
dc.subjectZAKLÁDACÍ KOMORAcs
dc.subjectION SPUTERINGen
dc.subjectVACUUM LOADINGen
dc.subjectVACUUM TRANSPORTen
dc.subjectLOCK AND LOAD SYSTEMSen
dc.subjectLOADING CHAMBERen
dc.titleModernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašovánícs
dc.title.alternativeUpgrade of the device for depositions by ion beam sputteringen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2010-06-17cs
dcterms.modified2010-07-13-11:45:04cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid29903en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 22:07:15en
sync.item.modts2021.11.12 21:29:52en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.63 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_29903.html
Size:
10.83 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_29903.html
Download
Collections
2010