Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena na popis stávající depoziční komory a její princip. Největší část práce se zabývá popisem návrhů aparatury pro zakládání vzorků. První návrh, od kterého se opustilo, je popsán jen stručně, u druhého návrhu jsou rozepsány jednotlivé kroky a řešení. V práci je i jednoduchý návod na zakládání vzorků. Na závěr jsou prezentovány výsledky simulací chladícího sytému vzorků a průhybu magnetické tyče.This thesis deals with concept and realization of device which allows loading without air intake. Vacuum technology and its theoretical bases are discussed as well. Moreover the thesis is based on description of the current deposition chamber and its principles. The main part deals with the description of the concepts of lock and load systems. The first concept that has not been realized is described just briefly. The second one is thorough with description of the individual solutions and methods. The work also contains simple instructions how to install the specimen. At the end are described some outputs of simulations that have been done to comprehend and solve any problems that might occur as specimen holder cooling and deflection of magnetic rod.