Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
but.defence | cs | |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Páleníček, Michal | cs |
dc.contributor.author | Skladaný, Roman | cs |
dc.contributor.referee | Mach, Jindřich | cs |
dc.date.accessioned | 2019-04-04T04:49:50Z | |
dc.date.available | 2019-04-04T04:49:50Z | |
dc.date.created | 2017 | cs |
dc.description.abstract | V této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování a charakterizaci nanostruktur. Jsou vysvětleny hlavní fyzikální a technické principy fungování zařízení UHV SEM. Dále je popsána adaptace efuzní cely používané ke tvorbě ultratenkých vrstev v aparatuře UHV SEM. V další části práce je navrženo konstrukční řešení clony redukující ohřívání a kontaminaci objektivu při in situ růstu a pozorování nanostruktur. V případě chlazení vzorku na kryogenní teploty lze clonou objektivu také chránit vzorek před tepelným zářením z okolí. | cs |
dc.description.abstract | This bachelor thesis presents mechanical design of an objective protection of ultrahigh vacuum scanning electron microscope (UHV SEM), which is a part of a complex modular UHV system used for growth, observation and characterisation of nanostructures. Main physical and technical working principles of the UHV SEM system are explained. Furthermore, adaptation of a Knudsen cell used for growth of ultrathin layers in the UHV SEM system is described. Finally, a mechanical design of a shutter reducing overheating and contamination of objective during in situ growth and observation of nanostructures is drafted. The objective shutter also protects the sample from ambient heat radiation in case that sample is cooled to cryogenic temperatures. | en |
dc.description.mark | A | cs |
dc.identifier.citation | SKLADANÝ, R. Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017. | cs |
dc.identifier.other | 101572 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/65323 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | UHV SEM | cs |
dc.subject | ultratenké vrstvy | cs |
dc.subject | vakuová technika | cs |
dc.subject | tepelný štít | cs |
dc.subject | efuzní cela | cs |
dc.subject | kryogenní teploty | cs |
dc.subject | konstruování v UHV | cs |
dc.subject | UHV SEM | en |
dc.subject | ultrathin layers | en |
dc.subject | vacuum technology | en |
dc.subject | thermal shield | en |
dc.subject | Knudsen cell | en |
dc.subject | cryogenic temperatures | en |
dc.subject | UHV mechanical design | en |
dc.title | Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur | cs |
dc.title.alternative | Adaptation of the UHV SEM system for growth and characterization of nanostructures | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | bachelorThesis | en |
dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2017-06-19 | cs |
dcterms.modified | 2017-06-20-09:57:07 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 101572 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2021.11.12 20:07:34 | en |
sync.item.modts | 2021.11.12 18:54:49 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Bakalářský | cs |
thesis.name | Bc. | cs |
Files
Original bundle
1 - 3 of 3
Loading...
- Name:
- final-thesis.pdf
- Size:
- 2.92 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- final-thesis.pdf
Loading...
- Name:
- appendix-1.rar
- Size:
- 2.4 MB
- Format:
- Unknown data format
- Description:
- appendix-1.rar
Loading...
- Name:
- review_101572.html
- Size:
- 9.89 KB
- Format:
- Hypertext Markup Language
- Description:
- review_101572.html