Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorPáleníček, Michalcs
dc.contributor.authorSkladaný, Romancs
dc.contributor.refereeMach, Jindřichcs
dc.date.created2017cs
dc.description.abstractV této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování a charakterizaci nanostruktur. Jsou vysvětleny hlavní fyzikální a technické principy fungování zařízení UHV SEM. Dále je popsána adaptace efuzní cely používané ke tvorbě ultratenkých vrstev v aparatuře UHV SEM. V další části práce je navrženo konstrukční řešení clony redukující ohřívání a kontaminaci objektivu při in situ růstu a pozorování nanostruktur. V případě chlazení vzorku na kryogenní teploty lze clonou objektivu také chránit vzorek před tepelným zářením z okolí.cs
dc.description.abstractThis bachelor thesis presents mechanical design of an objective protection of ultrahigh vacuum scanning electron microscope (UHV SEM), which is a part of a complex modular UHV system used for growth, observation and characterisation of nanostructures. Main physical and technical working principles of the UHV SEM system are explained. Furthermore, adaptation of a Knudsen cell used for growth of ultrathin layers in the UHV SEM system is described. Finally, a mechanical design of a shutter reducing overheating and contamination of objective during in situ growth and observation of nanostructures is drafted. The objective shutter also protects the sample from ambient heat radiation in case that sample is cooled to cryogenic temperatures.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationSKLADANÝ, R. Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017.cs
dc.identifier.other101572cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/65323
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectUHV SEMcs
dc.subjectultratenké vrstvycs
dc.subjectvakuová technikacs
dc.subjecttepelný štítcs
dc.subjectefuzní celacs
dc.subjectkryogenní teplotycs
dc.subjectkonstruování v UHVcs
dc.subjectUHV SEMen
dc.subjectultrathin layersen
dc.subjectvacuum technologyen
dc.subjectthermal shielden
dc.subjectKnudsen cellen
dc.subjectcryogenic temperaturesen
dc.subjectUHV mechanical designen
dc.titleAdaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostrukturcs
dc.title.alternativeAdaptation of the UHV SEM system for growth and characterization of nanostructuresen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2017-06-19cs
dcterms.modified2017-06-20-09:57:07cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid101572en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 07:41:41en
sync.item.modts2025.01.15 23:48:53en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.92 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.rar
Size:
2.4 MB
Format:
Unknown data format
Description:
appendix-1.rar
Download
Thumbnail Image
Name:
review_101572.html
Size:
9.89 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_101572.html
Download
Collections
2017