Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorAxman, Tomášcs
dc.contributor.refereePavera, Michalcs
dc.date.accessioned2018-10-21T21:09:44Z
dc.date.available2018-10-21T21:09:44Z
dc.date.created2016cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který je vyvíjen ve spolupráci s firmou Tescan. Teoretická část se zabývá rešeršní studií v současnosti používaných nosičů vzorků pro UHV a zhodnocení jejich pozitiv a negativ. Pojednáno je také o vhodnosti použití některých materiálů. Experimentální část popisuje samotnou konstrukci receptoru paletek s ohledem na nutný počet elektrických kontaktů pro měření elektrických vlastností vzorků a kompatibilitu s UHV. Následuje samotné měření a testování vyrobeného funkčního vzorku receptoru paletek jak při nízkých tak při vysokých teplotách.cs
dc.description.abstractThis bachelor thesis focuses on design and testing of a sample holder enabling for cooling and heating of the sample in ultra-high vacuum apparatus for scanning electron microscope, developed in cooperation with Tescan company. In the theoretical part the currently used sample holders in similar UHV systems are described and their positives and negatives are discussed including material selection. The experimental part describes designing of the sample holder with respect to the required number of electrical contacts for measuring electrical properties of the samples and UHV compatibility. Measurement and testing of the manufactured sample at low and high temperatures is presented.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationAXMAN, T. Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.cs
dc.identifier.other92710cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/61036
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectUHV SEMcs
dc.subjectnosič vzorkucs
dc.subjectreceptor paletekcs
dc.subjectzásobník paletekcs
dc.subjectteplotní děličcs
dc.subjectUHV SEMen
dc.subjectsample holderen
dc.subjectpalettes holderen
dc.subjectstack of paletteen
dc.subjecttemperature separationen
dc.titleVývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEMcs
dc.title.alternativeDevelopment of the sample holder for electrical diagnostics in UHV SEMen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2016-06-23cs
dcterms.modified2016-06-24-09:02:18cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid92710en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 16:09:16en
sync.item.modts2021.11.12 15:01:22en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.91 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
2.31 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_92710.html
Size:
10.74 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_92710.html
Download
Collections
2016