Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který je vyvíjen ve spolupráci s firmou Tescan. Teoretická část se zabývá rešeršní studií v současnosti používaných nosičů vzorků pro UHV a zhodnocení jejich pozitiv a negativ. Pojednáno je také o vhodnosti použití některých materiálů. Experimentální část popisuje samotnou konstrukci receptoru paletek s ohledem na nutný počet elektrických kontaktů pro měření elektrických vlastností vzorků a kompatibilitu s UHV. Následuje samotné měření a testování vyrobeného funkčního vzorku receptoru paletek jak při nízkých tak při vysokých teplotách.
This bachelor thesis focuses on design and testing of a sample holder enabling for cooling and heating of the sample in ultra-high vacuum apparatus for scanning electron microscope, developed in cooperation with Tescan company. In the theoretical part the currently used sample holders in similar UHV systems are described and their positives and negatives are discussed including material selection. The experimental part describes designing of the sample holder with respect to the required number of electrical contacts for measuring electrical properties of the samples and UHV compatibility. Measurement and testing of the manufactured sample at low and high temperatures is presented.
This bachelor thesis focuses on design and testing of a sample holder enabling for cooling and heating of the sample in ultra-high vacuum apparatus for scanning electron microscope, developed in cooperation with Tescan company. In the theoretical part the currently used sample holders in similar UHV systems are described and their positives and negatives are discussed including material selection. The experimental part describes designing of the sample holder with respect to the required number of electrical contacts for measuring electrical properties of the samples and UHV compatibility. Measurement and testing of the manufactured sample at low and high temperatures is presented.
Description
Citation
AXMAN, T. Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-23
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení