Porovnání mikroskopických diagnostických metod
Loading...
Date
Authors
Veselý, Jakub
Advisor
Referee
Mark
D
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Tato práce se zabývá popisem a porovnáním diagnostických metod transmisní elektronové mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. V úvodu práce je uveden popis jednotlivých diagnostických metod. Následuje experimentální část zabývající se diagnostikou vzorku feritické chromové oceli metodami rastrovací elektronové mikroskopie, mikroskopie atomárních sil, transmisní elektronové mikroskopie a vyhodnocením a interpretací naměřených výsledků. V závěru práce je uvedeno srovnání, výhody a nevýhody použitých diagnostických metod.
This thesis deals with the description and comparison of diagnostic methods, transmission electron microscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. The introduction is a description of diagnostic methods. The following experimental section dealing with the diagnosis of ferritic chromium steel sample methods of scanning electron microscopy, atomic force microscopy, transmission electron microscopy and the evaluation and interpretation of measured results. The conclusion provides a comparison, the advantages and disadvantages of diagnostic methods.
This thesis deals with the description and comparison of diagnostic methods, transmission electron microscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. The introduction is a description of diagnostic methods. The following experimental section dealing with the diagnosis of ferritic chromium steel sample methods of scanning electron microscopy, atomic force microscopy, transmission electron microscopy and the evaluation and interpretation of measured results. The conclusion provides a comparison, the advantages and disadvantages of diagnostic methods.
Description
Keywords
Rastrovací elektronová mikroskopie , transmisní elektronová mikroskopie , mikroskopie atomárních sil , mikroskopie rastrující sondou , primární elektrony , sekundární elektrony , zpětně odražené elektrony , hrot , kontaktní režim , bezkontaktní režim. , Scanning electron microscopy , transmission electron microscopy , atomic force microscopy , scanning probe microscopy , primary elektron , secundary elektron , backscattered electron , tip , contact mode , non-contact mode.
Citation
VESELÝ, J. Porovnání mikroskopických diagnostických metod [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2012.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (místopředseda)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2012-08-23
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
V případě metody SEM bylo použití detektoru typu ETD a urychlovacího napětí Uk=1kV vhodnější proti použití urychovacího napětí Uk=15kV a detektoru typu TLD. Čím to bylo způsobeno?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena