Testování reflexního módu multimodálního holografického mikroskopu

Abstract

Bakalářská práce se zabývá testováním reflexního módu Multimodálního holografického mikroskopu zkonstruovaného ve spolupráci s firmou TESCAN. Testováním se myslí především stanovení osového a laterálního rozlišení, ověření osové intenzitní odezvy a zdokumentování chyb a nedostatků nalezených při měření. Závěr práce je věnován srovnání s mikroskopem atomárních sil. Správné pochopení ovládání mikroskopu a vypracování postupu k jeho naladění bylo nezbytnou součástí této práce.The thesis is focused on testing of reflection mode of Multimodal holographic microscope constructed in cooperation with TESCAN company. The assessment of axial and lateral resolution, verification of axial intensity response and documentation errors and deficiencies found while measuring are included in the testing procedure. In the conclusion, the Multimodal holographic microscope is compared to an atomic force microscop. A proper understanding of microscope operation and a formulation of an adjustment procedure were essential components of this work.