but.committee	prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) Doc. RNDr. petr Sládek, CSc. (člen) Prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc., - oponent (člen) prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (člen) doc. Ing. Josef Jirák, CSc. (člen) Doc. Ing. Jiří Oetr, CS c. - oponent - není člen komise (člen)	cs
but.defence		cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Jirák, Josef	cs
dc.contributor.author	Černoch, Pavel	cs
dc.date.accessioned	2019-06-14T11:02:28Z
dc.date.available	2019-06-14T11:02:28Z
dc.date.created	2008	cs
dc.description.abstract	Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.	cs
dc.description.abstract	The dissertation thesis deals with signal detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope and utilization of this detector to gain required information in a specimen image. Main interest is focused on the detector containing several electrodes with a varied geometry arrangement and voltages on these electrodes. The detector was named segmental ionization detector. Detection capabilities of the segmental ionization detector were studied through computer simulations and experiments in the microscope utilizing knowledge from a technical literature background. On the base of the accomplished experiments, the segmental ionization detector has been optimized for the secondary electron detection improvement and at another configuration optimized for a high material contrast acquisition of the specimen image. Consideration of benefits of the examined segmental ionization detectors is included in the work.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	ČERNOCH, P. Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.	cs
dc.identifier.other	13776	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/2528
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Environmentální SEM	cs
dc.subject	segmentový ionizační detektor	cs
dc.subject	sekundární elektrony	cs
dc.subject	zpětně odražené elektrony	cs
dc.subject	úroveň signálu	cs
dc.subject	kontrast ve snímku.	cs
dc.subject	Environmental SEM	en
dc.subject	segmental ionization detector	en
dc.subject	secondary electrons	en
dc.subject	back-scattered electrons	en
dc.subject	signal level	en
dc.subject	image contrast.	en
dc.title	Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM	cs
dc.title.alternative	Signal Detection by Segmental Ionization Detector in Environmental SEM	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.dateAccepted	2008-09-18	cs
dcterms.modified	2008-09-23-13:31:42	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
sync.item.dbid	13776	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2021.11.12 10:22:32	en
sync.item.modts	2021.11.12 09:43:21	en
thesis.discipline	Mikroelektronika a technologie	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologie	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM

Files

Original bundle

Collections