Stínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopie

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBartošík, Miroslavcs
dc.contributor.authorŠvarc, Vojtěchcs
dc.contributor.refereePálesch, Erikcs
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractTato diplomová práce je zaměřená na experimentální studium stínícího efektu oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený Kelvinovým silovým mikroskopem. Pro studium povrchového potenciálu byly vytvořeny struktury na bázi Au/SiO2 pomocí elektronové litografie a metod depozice monovrstev a multivrstev. Povrchový potenciál byl zkoumaný v závislosti na vlhkosti a tloušťce oxidové vrstvy.cs
dc.description.abstractThe diploma thesis deals with the experimental study of shielding effect of oxide isolating layer on surface potential measured by Kelvin Probe Force Microscopy. For the study of surface potential were created Au/SiO2 based nanostructures by Electron Beam Lithography, Atomic Layer Deposition and Multilayer Deposition. Surface potential was measured depending on the relative humidity and thickness of oxide isolating layer.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationŠVARC, V. Stínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other83954cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/41574
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectKPFMcs
dc.subjectSiO2cs
dc.subjectrelativní vlhkostcs
dc.subjectKPFMen
dc.subjectSiO2en
dc.subjectrelative humidityen
dc.titleStínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopiecs
dc.title.alternativeShielding Effect of Oxide Isolating Layer on Surface Potential Measured by Kelvin Probe Force Microscopyen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-23cs
dcterms.modified2015-06-24-13:49:24cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid83954en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 07:58:20en
sync.item.modts2025.01.15 21:45:18en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.9 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_83954.html
Size:
9.11 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_83954.html
Collections