Povrchová topografie a mechanické vlastnosti tenkých vrstev na bázi tetravinylsilanu

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) prof. Dr. Ing. Martin Palou (člen) doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen) prof. Ing. Petr Ptáček, Ph.D. (člen) prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen) prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (člen)cs
but.defenceDiplomant ve svém vystoupení popsal současný stav řešené problematiky a hlavní výsledky své vynikající diplomové práce. Prezentace byla srozumitelná, jasná a přesná, použité grafické prostředky byly rovněž na vysoké úrovni. Dotazy oponenta i členů komise zodpověděl správně a úplně. Prokázal hluboké znalosti oboru a zájem o vědeckou práci.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČech, Vladimírcs
dc.contributor.authorPlichta, Tomášcs
dc.contributor.refereeKlapetek, Petrcs
dc.date.created2016cs
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce je zaměřena na přípravu a charakterizaci tenkých vrstev plazmových polymerů na bázi monomeru tetravinylsilanu (TVS). Vzorky byly připraveny v pulzním i kontinuálním režimu plazmového výboje za použití metody plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Plazmové polymery byly deponovány na plošné křemíkové substráty z čistého prekurzoru TVS a jeho směsí s argonem nebo kyslíkem. Charakterizace vzorků byla zaměřena především na topografii povrchu a drsnost zkoumanou metodou mikroskopie atomárních sil (AFM), mechanické vlastnosti, konkrétně modul pružnosti a tvrdost, studované cyklickou nanoindentací a posouzení míry adheze vrstvy k substrátu vrypovou zkouškou. Zvláštní pozornost byla věnována charakterizaci vrstev s modulem pružnosti pod 10 GPa. Při určování míry adheze tenké vrstvy k substrátu byl navíc studován i vliv použité geometrie hrotu indentoru. Na základě výsledků byl stanoven vliv depozičních podmínek na mechanické vlastnosti, adhezi a topografii povrchu.cs
dc.description.abstractProposed diploma thesis is focused on preparation and characterization of the plasma polymer thin films based on tetravinylsilane monomer (TVS). Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) method involving pulse and continual plasma discharge modes were used for thin film deposition on silicon wafer pieces. Reactive plasma composition was containing pure TVS or mixtures of TVS and argon or oxygen gas. Atomic force microscopy was used for surface topography and roughness characterization. Cyclic nanoindentation was involved to measurements to determine the Young’s modulus and hardness of prepared films and scratch test was performed to evaluate the degree of adhesion. Special attention was drawn to the characterization of films with a Young’s modulus below 10 GPa. Tip geometry of indenter influence on scratch test was also commented. Surface and mechanical properties of thin films in relation to the deposition conditions were correlated to the obtained results and final analysis of deposition conditions influence is proposed.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationPLICHTA, T. Povrchová topografie a mechanické vlastnosti tenkých vrstev na bázi tetravinylsilanu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2016.cs
dc.identifier.other86813cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/58290
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTenké vrstvycs
dc.subjectplazmové polymerycs
dc.subjectPECVDcs
dc.subjectnanoindentacecs
dc.subjectadhezecs
dc.subjectvrypová zkouškacs
dc.subjectmikroskopie atomárních sil (AFM)cs
dc.subjectThin filmsen
dc.subjectplasma polymersen
dc.subjectPECVDen
dc.subjectnanoindentationen
dc.subjectadhesionen
dc.subjectscratch testen
dc.subjectatomic force microscopy (AFM)en
dc.titlePovrchová topografie a mechanické vlastnosti tenkých vrstev na bázi tetravinylsilanucs
dc.title.alternativeSurface topography and mechanical properties of thin films on tetravinylsilane basisen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2016-05-31cs
dcterms.modified2016-05-31-16:19:57cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
sync.item.dbid86813en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 09:48:53en
sync.item.modts2025.01.17 10:30:30en
thesis.disciplineChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálůcs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.31 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
498.83 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_86813.html
Size:
7.07 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_86813.html
Download
Collections
2016