Optimalizace tvaru čerpání diferenciálně čerpané komory pro novou koncepci elektronového mikroskopu
Loading...
Date
Authors
Polách, Ondřej
ORCID
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Předkládaná práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie především environmentální elektronovou mikroskopií. Hlavním úkolem práce bude návrh optimálního tvaru diferenciálně čerpané komory, oddělující tlakový rozdíl mezi tubusem a komorou vzorku pro novou koncepci elektronového mikroskopu. Pomocí systému Ansys Fluent bude analyzováno čerpání plynu. Následně podle získaných výsledků bude modifikován tvar diferenciální komory tak aby bylo dosaženo co nejnižšího tlaku plynu na dráze elektronového svazku.
The present work deals with electron microscopy, electron microscopy primarily environmental. The main task of the work will draft the optimal shape of the differentially pumped chamber, dividing the pressure difference between tube and chamber with sample for a new concept of an electron microscope. By ANSYS Fluent will be analyzed pumping gas. Subsequently, according to the results obtained will be a modified form of the differential Chamber and to achieve the lowest gas pressure on the track of the electron beam.
The present work deals with electron microscopy, electron microscopy primarily environmental. The main task of the work will draft the optimal shape of the differentially pumped chamber, dividing the pressure difference between tube and chamber with sample for a new concept of an electron microscope. By ANSYS Fluent will be analyzed pumping gas. Subsequently, according to the results obtained will be a modified form of the differential Chamber and to achieve the lowest gas pressure on the track of the electron beam.
Description
Citation
POLÁCH, O. Optimalizace tvaru čerpání diferenciálně čerpané komory pro novou koncepci elektronového mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2015.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Jiří Luňáček, Ph.D., MBA (člen)
Ing. Bohuslav Res, CSc. (člen)
Ing. Jiří Ovsík (člen)
Date of acceptance
2015-06-08
Defence
Co v rovnici číslo 3.41 vyjadřuje Cp a jakou má tato veličina jednotku?
Jaké jsou důvody pro optimalizaci tvaru komory?
Student seznámil zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení