Optimalizace tvaru čerpání diferenciálně čerpané komory pro novou koncepci elektronového mikroskopu

Abstract

Předkládaná práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie především environmentální elektronovou mikroskopií. Hlavním úkolem práce bude návrh optimálního tvaru diferenciálně čerpané komory, oddělující tlakový rozdíl mezi tubusem a komorou vzorku pro novou koncepci elektronového mikroskopu. Pomocí systému Ansys Fluent bude analyzováno čerpání plynu. Následně podle získaných výsledků bude modifikován tvar diferenciální komory tak aby bylo dosaženo co nejnižšího tlaku plynu na dráze elektronového svazku.The present work deals with electron microscopy, electron microscopy primarily environmental. The main task of the work will draft the optimal shape of the differentially pumped chamber, dividing the pressure difference between tube and chamber with sample for a new concept of an electron microscope. By ANSYS Fluent will be analyzed pumping gas. Subsequently, according to the results obtained will be a modified form of the differential Chamber and to achieve the lowest gas pressure on the track of the electron beam.