Planární struktury pro vysoké kmitočty

Abstract

Předložená práce se zabýbá problematikou návrhu a technologie planárních mikroelektronických struktur určených pro vysoké kmitočty. Vybrané struktury byly realizovány v laboratořích na Ústavu mikroelektroniky, měření vlastností vybraných struktur potom probíhalo na Ústavu radioelektroniky. Součástí práce je i simulace vybraných struktur, přičemž k těmto simulacím byl použit návrhový systém Ansoft Designer a výpočetní systém ANSYS. Pozornost je věnována diskrétním prvkům (cívkám a kondenzátorům), kmitočtovým filtrům v planární a hybridní technologii a mikrovlnným filtrům v planárním uspořádání. Práce přináší nové poznatky v oblasti návrhu a technologie diskrétních prvků i komplexnějších obvodů (filtrů), tyto poznatky potom mohou být dále využity jako podklad pro další výzkum i pro praktické realizace.The present paper deals with the problematics of the design and technology of planar microelectronic structures for the hign frequency band. These structures were realised on the Department of Microelectronics and their properties were measured on the Department of Radioelectronics. The part of this work is also simulation of some microelectronic structures, where for these simulations the design and simulation tool Ansoft Designer and the FEM tool ANSYS was used. The attention is paid to the discrete devices (coils and capacitors) as well as to the more complex structures (frequency filters). The paper yields the new findings in the field of the design and technology of the discrete components as well as of the more complex systems, these findings can be used as the basis for another research of practical applications.