Tenkovrstvé systémy
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu.
This bachelor thesis concerns to create of thin films on various types of substrates. In the theoretical parts is an overview of the formation of thin films using several techniques. The thesis contains an overview of substrate cleaning processes before the deposition of layer plates and tools for evaluating their properties. Finally, the masking method is discussed. In the experimental part, the acquaintance with the NP - 12 sputtering device and the production of samples took place. The adhesion of the produced samples was evaluated. Electrolysis of samples with titanium coated followed. Finally, the silicon substrate was masked.
This bachelor thesis concerns to create of thin films on various types of substrates. In the theoretical parts is an overview of the formation of thin films using several techniques. The thesis contains an overview of substrate cleaning processes before the deposition of layer plates and tools for evaluating their properties. Finally, the masking method is discussed. In the experimental part, the acquaintance with the NP - 12 sputtering device and the production of samples took place. The adhesion of the produced samples was evaluated. Electrolysis of samples with titanium coated followed. Finally, the silicon substrate was masked.
Description
Citation
KUCHAŘÍK, J. Tenkovrstvé systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2020.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2020-06-24
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise.
Otázky komise k obhajobě:
1. Proč se rozpustil titan v siranu?
2. Proč máte v práci různé tlaky a různé výšky vrstev?
3. Kolik vzorků jste dělal?
4. Jaký je váš závěr a doporučení nejlepší metody?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení