Kalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilů

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Nejistoty měření u prezentovaných dat.cs
but.jazykslovenština (Slovak)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrsk
dc.contributor.authorJanák, Marcelsk
dc.contributor.refereePrůša, Stanislavsk
dc.date.accessioned2019-06-27T10:41:20Z
dc.date.available2019-06-27T10:41:20Z
dc.date.created2019cs
dc.description.abstractTáto bakalárska práca je zameraná na kvantitatívnu analýzu zastúpenia dopantov (C, H, Mg, O) v tranzistoroch AlGaN HEMT, vyrábaných metódou MOCVD, pomocou zariadenia TOF.SIMS 5 s céziovým a kyslíkovým odprašovaním. Dôvodom vývoja RSF metódy kvantifikácie merania SIMS sú ťažko predvídateľné javy preferenčného odprašovania a matricového efektu. Kalibračné vzorky, pripravené metódou iónovej implantácie do homogénnych a periodických štruktúr III-nitridov AlN a GaN, reprodukujeme simuláciou v programe ión-atómovej interakcie TRIM. Súčasťou práce je taktiež kvantifikácia matrice (AlGaN).sk
dc.description.abstractThis bachelor thesis is concerned with a quantitative analysis of the dopant (C, H, Mg, O) distribution in MOCVD-grown AlGaN HEMTs by TOF.SIMS 5 instrument with cesium and oxygen sputtering. The main reason for the development of RSF SIMS measurement quantification method is a hardly predictable phenomenon of preferential sputtering and matrix effect. Calibration samples, prepared by ion implantation technique into homogeneous and periodic III-nitride AlN, GaN structures, are reproduced by an ion-atom interaction program TRIM. A part of this work is likewise a quantification of AlGaN matrix.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationJANÁK, M. Kalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.cs
dc.identifier.other117577cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/179359
dc.language.isoskcs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectKvantitatívna analýzask
dc.subjectdopantsk
dc.subjectAlGaN HEMTsk
dc.subjectMOCVDsk
dc.subjectTOF.SIMS 5sk
dc.subjectcéziové odprašovaniesk
dc.subjectkyslíkové odprašovaniesk
dc.subjectRSF metódask
dc.subjectpreferenčné odprašovaniesk
dc.subjectmatricový efektsk
dc.subjectiónová implantáciask
dc.subjectIII-nitridysk
dc.subjectTRIMsk
dc.subjectQuantitative analysisen
dc.subjectdopanten
dc.subjectAlGaN HEMTen
dc.subjectMOCVDen
dc.subjectTOF.SIMS 5en
dc.subjectcesium sputteringen
dc.subjectoxygen sputteringen
dc.subjectRSF methoden
dc.subjectpreferential sputteringen
dc.subjectmatrix effecten
dc.subjection implantationen
dc.subjectIII Nitridesen
dc.subjectTRIMen
dc.titleKalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilůsk
dc.title.alternativeCalibration of SIMS method by implantation profilesen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2019-06-21cs
dcterms.modified2019-06-21-14:08:43cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid117577en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 16:09:52en
sync.item.modts2021.11.12 14:54:55en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
4.18 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_117577.html
Size:
9.17 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_117577.html
Download
Collections
2019