Měření náboje v dielektrických vrstvách
Loading...
Date
Authors
Šťavík, Jaroslav
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Tato práce se zabývá moderním měřením elektrického náboje v dielektrických vrstvách. Jedná se hlavně o měření C-V charakteristiky a specielní metody měření povrchové energie ze smáčivosti povrchu. Práce je brána jako základ pro další zkoumání nových metod pro měření náboje v dielektriku.
This work deal with modern measurement of electrical charge in the dielectric layers. It is mainly about measuring CV characteristics and special methods of measuring the surface energy of the surface wettability. Work is taken as a basic for further exploration of new methods for measuring the charge in the dielectric.
This work deal with modern measurement of electrical charge in the dielectric layers. It is mainly about measuring CV characteristics and special methods of measuring the surface energy of the surface wettability. Work is taken as a basic for further exploration of new methods for measuring the charge in the dielectric.
Description
Keywords
Citation
ŠŤAVÍK, J. Měření náboje v dielektrických vrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
prof. Ing. Lubomír Hudec, DrSc. (místopředseda)
doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (člen)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2010-06-15
Defence
Student seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky.
Otázky oponenta:
Jaké jednotky mají být správně na osách kapacity v prezentovaných C-V závislostech?
Jaká byla tloušťka SiNx vrstev?
Otázky komise:
Sledoval jste v průběhu pokusu drsnost povrchu?
Srovnejte účinnost měřeného článku s běžně používánými články.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena