Depozice a charakterizace tenkých vrstev a jejich analýza za pomoci skenovací elektronové mikroskopie

Simple item page
but.committeedoc. Ing. Vít Jan, Ph.D. (předseda) doc. Ing. Bohumil Pacal, CSc. (místopředseda) Ing. Martin Juliš, Ph.D. (člen) doc. Ing. Ladislav Čelko, Ph.D. (člen) doc. Ing. Václav Pouchlý, Ph.D., Ing.Paed.IGIP (člen) doc. Ing. David Salamon, Ph.D. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programStrojírenstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČupera, Jancs
dc.contributor.authorKiška, Romancs
dc.contributor.refereeMoravčík, Igorcs
dc.date.created2018cs
dc.description.abstractTato práce se zabývá metodami nanášení tenkých vrstev, a to zejména metodou PVD a CVD. Součástí práce byla i experimentální část, kde byly nedeponovány dva vzorky metodou magnetronového naprašování a nanášením z plynné fáze. Cílem práce bylo porovnat jejich materiálové vlastnosti se vzorky průmyslově vyrobenými, měřena byla jejich tvrdost, adheze, drsnost a tloušťka. Teoretická část se zabývá chemickou a fyzikální podstatou různých metod depozice tenkých vrstev a popisem materiálových vlastností, které jsou u tenkých povlaků podstatné. Praktická část zahrnuje popis depozičních procesů a použitých charakterizačních technik.cs
dc.description.abstractMy thesis is concerned with the application of thin films methods and it focuses on the method of PVD and CVD. Another part of my work is experimental, where two samples were preapared by magnetron sputtering and by method of gas phase deposition. The aim of the work was to compare their material properties with commercially produced samples. Severel parts were measured - nanohardness, adhesion, roughness and thickness. Theoretical part focuses on chemical and physical essence of the different methods of the deposition of thin films and on the description of material properties, that are essential for thin films. The practical part includes the description of depositional processes and of the characteristic techniques used in the practical part.en
dc.description.markCcs
dc.identifier.citationKIŠKA, R. Depozice a charakterizace tenkých vrstev a jejich analýza za pomoci skenovací elektronové mikroskopie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.cs
dc.identifier.other108427cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/82337
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectPVDcs
dc.subjectCVDcs
dc.subjectnanotvrdostcs
dc.subjectadhezecs
dc.subjectdrsnostcs
dc.subjectSEMcs
dc.subjectAFMcs
dc.subjectYoungův modul pružnostics
dc.subjectPVDen
dc.subjectCVDen
dc.subjectnanohardnessen
dc.subjectadhesionen
dc.subjectroughnessen
dc.subjectSEMen
dc.subjectAFMen
dc.subjectYoung’s modulus of elasticityen
dc.titleDepozice a charakterizace tenkých vrstev a jejich analýza za pomoci skenovací elektronové mikroskopiecs
dc.title.alternativeTechniques of thin layers deposition and characterization, their analysis using scanning electron microscopyen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2018-06-13cs
dcterms.modified2018-06-25-08:23:46cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid108427en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 07:50:24en
sync.item.modts2025.01.15 22:57:24en
thesis.disciplineZáklady strojního inženýrstvícs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav materiálových věd a inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
5.69 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_108427.html
Size:
10.45 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_108427.html
Download
Collections
2018