Ionizační detektor pro EREM
but.committee | prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda) doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc. (místopředseda) Ing. Karel Pospíšil (člen) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen) | cs |
but.defence | Otázky oponenta 1) Jakou konfiguraci doporučíte pro získání optimálního obrazu ionizačním detektorem s vodivou mřížkou vloženou mezi vzorkem detektorem. 2) Odhadněte, s jakou přesností byly získány výsledky uvedené na Obr. 37. Otázky komise - Otázky vztahující se k citacím a použité literatuře. | cs |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Jirák, Josef | cs |
dc.contributor.author | Černoch, David | cs |
dc.contributor.referee | Špinka, Jiří | cs |
dc.date.created | 2009 | cs |
dc.description.abstract | Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru. | cs |
dc.description.abstract | This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC. | en |
dc.description.mark | C | cs |
dc.identifier.citation | ČERNOCH, D. Ionizační detektor pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009. | cs |
dc.identifier.other | 22857 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/7405 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | Rastrovací elektronový mikroskop (REM) | cs |
dc.subject | environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM) | cs |
dc.subject | sekundární elektrony (SE) | cs |
dc.subject | ionizační detektor (ID) | cs |
dc.subject | Scanning electron microscope (SEM) | en |
dc.subject | environmental scanning electron microscope (environmental SEM) | en |
dc.subject | secondary electrons (SE) | en |
dc.subject | Ionization detektor ( ID ) | en |
dc.title | Ionizační detektor pro EREM | cs |
dc.title.alternative | Ionization Detector for Variable Pressure SEM | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | masterThesis | en |
dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2009-06-08 | cs |
dcterms.modified | 2009-07-07-11:45:34 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
sync.item.dbid | 22857 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.26 11:16:49 | en |
sync.item.modts | 2025.01.16 00:01:02 | en |
thesis.discipline | Mikroelektronika | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky | cs |
thesis.level | Inženýrský | cs |
thesis.name | Ing. | cs |
Files
License bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- license.txt
- Size:
- 1.71 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: