Ionizační detektor pro EREM
Loading...
Date
Authors
Černoch, David
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.
This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.
This graduation theises deal with influence of an additional grating possitioned berween the sample and the ionisation detektor of the environmental scannin elektron microscope on signal detection. Signal level is measured for changing pressure, at different voltages on the aditional grating, at different sample - additional electrode distance and at different sample - detektor distance. Influence of the additional grating is simulated for real working conditions on PC.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM) , environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM) , sekundární elektrony (SE) , ionizační detektor (ID) , Scanning electron microscope (SEM) , environmental scanning electron microscope (environmental SEM) , secondary electrons (SE) , Ionization detektor ( ID )
Citation
ČERNOCH, D. Ionizační detektor pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc. (místopředseda)
Ing. Karel Pospíšil (člen)
doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-08
Defence
Otázky oponenta
1) Jakou konfiguraci doporučíte pro získání optimálního obrazu ionizačním detektorem s vodivou mřížkou vloženou mezi vzorkem detektorem.
2) Odhadněte, s jakou přesností byly získány výsledky uvedené na Obr. 37.
Otázky komise
- Otázky vztahující se k citacím a použité literatuře.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena