Kvalifikace depoziční pece

Simple item page
but.committeedoc. Ing. František Urban, CSc. (předseda) RNDr. Ladislav Mareček, CSc. (místopředseda) Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D. (člen) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky komise. Otázky u obhajoby: 1) Uveďte kde v polovodičové struktuře se používá předmět bakalářské práce? 2) Co bylo největším teoretickým/praktickým omezením při volbě návrhu experimentu? 3) Jak hodnotíte variabilitu depozičního procesu? 4) S jakou přesností byla regulována v procesu teplota?cs
but.jazykangličtina (English)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorSemiconductor, Vlastimil Hanáček, ONen
dc.contributor.authorPetrová, Lenkaen
dc.contributor.refereeUlrych, Janen
dc.date.created2009cs
dc.description.abstractTato práce je zaměřena na problém nastavení CVD pece pro produkci ve výrobním závodu. Problém je, že přesná zařízení jako depoziční pece musíbýt pro produkci nastaveny až na místě, kde budou provozovány. Toho je možno docílit pomocí statistických nástrojů jako například DOE (design of experiment). Vstupní hodnoty procesu ovlivňují výstupy. Úkolem DOE je definovat, jakým způsobem. Z předchozího DOE provedeného v závodě COM1 vyplývají některá nastavení proměnných. Jiné proměnné musí být nastaveny dle předchozích zkušeností. Úkolem práce je seznámit čtenáře se základy depozice z plynné fáze a konceptem DOE. Následně je navržen vlastní experiment. Tento je vyhodnocen a výstupem práce je pak ideální nastavení reaktoru. Čtenáři bude též nepřímo představen proces DMAIC, který byl použit při samotném experimentu a vyhodnocování v ON Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm, CZ4 WFAB.en
dc.description.abstractThis bachelor’s thesis deals with the problem of adjusting of a CVD (chemical vapor deposition) reactor for operations in a given plant. The problem is that precise machines such as a CVD reactor have to be adjusted for function in the place, where they will be operated. This can be done by using statistical tools such as the DOE (design of experiment). There is a range of inputs that can affect the results of the deposition process. From these some will have to be selected as constants and some will become variables in the DOE. The target of this project is to introduce the reader to the topic of CVD, then, from previous DOE done on such machine in the COM1, design an experiment to adjust the machine in CZ4 WFAB for production, evaluate the acquired data and obtain the ideal setting for the reactor. The reader will be indirectly introduced also to DMAIC process since the DMAIC was used to evaluate the actual experiment in ON Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm, CZ4 WFAB.cs
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationPETROVÁ, L. Kvalifikace depoziční pece [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.cs
dc.identifier.other22445cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/922
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectdepozice z plynné fázeen
dc.subjectfosfinen
dc.subjectsilanen
dc.subjectpolykrystalický křemíken
dc.subjectfaktorová analýzaen
dc.subjectDOEen
dc.subjectOFATen
dc.subjectDMAICen
dc.subjectdepoziční pecen
dc.subjectCVDen
dc.subjectchemical vapor depositioncs
dc.subjectCVDcs
dc.subjectphosphinecs
dc.subjectsilanecs
dc.subjectpolycrystalline siliconcs
dc.subjectfactor analysiscs
dc.subjectDOEcs
dc.subjectOFATcs
dc.subjectDMAICcs
dc.subjectdeposition furnacecs
dc.titleKvalifikace depoziční peceen
dc.title.alternativeCharacterization of VTR-7000 deposition furnacecs
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2009-06-12cs
dcterms.modified2009-07-07-11:45:15cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid22445en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:13:18en
sync.item.modts2025.01.15 21:27:36en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
527.05 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
317.04 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_22445.html
Size:
9.24 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_22445.html
Download
Collections
2009