but.committee	prof. Ing. Jiří Švejcar, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaroslav Král, CSc. (člen) prof. RNDr. Karel Mašek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen) prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (člen)	cs
but.defence	Práce přináší nové poznatky ve využití metody ToF-LEIS kvalitativnímu a kvantitativnímu popisu multivrstev a nanostruktur. Některé výsledky byly publikovány v časopisech.	cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Dub, Petr	cs
dc.contributor.author	Duda, Radek	cs
dc.contributor.referee	Král, Jaroslav	cs
dc.contributor.referee	Mašek, Karel	cs
dc.date.created	2015	cs
dc.description.abstract	Předložená práce pojednává o využití analytické metody TOF-LEIS v oblasti výzkumu nanostruktur. Touto metodou byl stanoven nový postup pro hloubkové profilování prvkového složení vzorku, který je založen na střídavém měření spolu s metodou DSIMS. Metoda TOF-LEIS je schopna detekovat rozhraní vrstev ještě před jeho rozmixováním odprašujícím svazkem iontů metody DSIMS. Dále byl stanoven postup úpravy výsledných ToF-LEIS spekter tak, abychom obdrželi skutečnou koncentraci prvků ve vzorku eliminací příspěvku mnohoobných kolizí projektilů. Porovnáním TOF LEIS spekter s výsledky měření metody DSIMS byl obdržen poměr výtěžku iontů molybdenu a křemíku. V další části práce jsou ukázány výhody metody TOF-LEIS v kombinaci s metodou XPS během analýzy teplotní stability zlatých nanočástic. Je ukázána komplementárnost obou metod a jejich závěry podloženy snímky elektronového mikroskopu. Závěrečná část je věnována popisu nově sestavené aparatury pro analytickou metodu TOF-SARS a představení jejich možností především ohledně detekce vodíku na grafenu.	cs
dc.description.abstract	The presented thesis deals with the utilization of TOF-LEIS analytical method in the area of nanostructure analysis. A new procedure for depth profiling of the elemental composition of the sample, based on the alternate measurement with the DSIMS method, was established. The TOF-LEIS method is able to detect the interface between the layers before its mixing by the ion beam of the DSIMS method. Furthermore, a procedure of TOF-LEIS spektra modification was established to obtain the actual concentration of elements in the sample by reduction of a multiple collision contribution. By comparison of TOF-LEIS spectra with the results received by the DSIMS method the ratio of molybdenum and silicon ion yields was obtained. In the next section advantages of the TOF-LEIS method in combination with XPS during analysis of thermal stability of gold nanoparticles are presented. The mutual complementarity of both methods is shown and final conclusions are supported by electron microscopy images. The final section deals with a newly assembled apparatus for the TOF-SARS analytical method and shows its possibilities regarding the detection of hydrogen on the graphene.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	DUDA, R. Analýza nanostruktur metodou ToF-LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.	cs
dc.identifier.other	89368	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/51850
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	analýza	cs
dc.subject	difuze	cs
dc.subject	desorpce	cs
dc.subject	grafen	cs
dc.subject	hloubkové profilování	cs
dc.subject	nanostruktury	cs
dc.subject	odprašování	cs
dc.subject	silicid	cs
dc.subject	simulace	cs
dc.subject	spektroskopie rozptylu nízkoenergiových iontů	cs
dc.subject	rozptyl	cs
dc.subject	teplotní stabilita	cs
dc.subject	zlaté nanočástice	cs
dc.subject	analysis	en
dc.subject	diffusion	en
dc.subject	desorption	en
dc.subject	depth profiling	en
dc.subject	gold nanoparticles	en
dc.subject	graphene	en
dc.subject	low energy ion scattering spectroscopy	en
dc.subject	nanostructures	en
dc.subject	silicide	en
dc.subject	sputtering	en
dc.subject	scattering	en
dc.subject	simulation	en
dc.subject	thermal stability	en
dc.title	Analýza nanostruktur metodou ToF-LEIS	cs
dc.title.alternative	Analysis of Nanostructures by ToF-LEIS	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.dateAccepted	2015-12-01	cs
dcterms.modified	2015-12-14-13:18:40	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta strojního inženýrství	cs
sync.item.dbid	89368	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2025.03.27 14:41:39	en
sync.item.modts	2025.01.15 13:02:28	en
thesis.discipline	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Analýza nanostruktur metodou ToF-LEIS

Files

Original bundle

Collections