Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)cs
but.defencePo otázkáých oponenta bylo dále diskutováno: Jakým způsobem se řeší interakční potenciál v případě větších energií jako je u RBS? Jakým nejjednoduším způsobem by bylo možné zavést stínění interakčního potenciálu?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorPrůša, Stanislavcs
dc.contributor.authorChmelický, Martincs
dc.contributor.refereeCaha, Ondřejcs
dc.date.created2019cs
dc.description.abstractTato diplomová práce se věnuje studiu interakce iontů helia, neonu, argonu a galia s grafenovou vrstvou. Při zpracování grafenu fokusovaným galiovým svazkem (FIB) však dochází ke kontaminaci grafenové struktury galiovými ionty a následně dochází k ovlivnění jeho vlastností, např. snížení elektrické vodivosti. Cílem práce je ověřit působení vybraných iontových svazků na strukturu grafenu a vybrat vhodný iontový svazek k jeho odprašování. Dále byla navržena a realizována konstrukční úprava vyhřívací paletky pro analýzu vzorků v zařízení pro nízkoenergiový rozptyl iontů LEIS – Qtac 100, který je připojen ke komplexní aparatuře pro depozici a analýzu nanostruktur SPECS. Tato modifikace umožňuje studium chování vybraných nanočástic na vhodné podložce za zvýšené teploty.cs
dc.description.abstractIn this thesis we study the interaction of helium, neon, argon and gallium ions with graphene. The graphene structure is contaminated with gallium ions during the graphene processing by focused gallium beam (FIB). The graphene properties are affected, e.g. reducing the electrical conductivity. The aim of this thesis is to verify the effect of selected ion beams on the graphene structure and select suitable ion beam for sputtering. Furthermore, the modification of standard heating stage used in LEIS instrument (Qtac 100) was designed and implemented. The LEIS instrument is connected to the complex UHV system for deposition and analysis of nanostructures – SPECS. This modification allows analysis of selected nanoparticles on suitable substrate at the elevated temperature.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationCHMELICKÝ, M. Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.cs
dc.identifier.other117422cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/179111
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectLEIScs
dc.subjectgrafencs
dc.subjectvyhřívací paletkacs
dc.subjectžíhánícs
dc.subjectin-situ analýzacs
dc.subjectFIBcs
dc.subjectionty inertních plynůcs
dc.subjectgalium.cs
dc.subjectLEISen
dc.subjectgrapheneen
dc.subjectheating stageen
dc.subjectannealingen
dc.subjectin-situ analysisen
dc.subjectFIBen
dc.subjectinert gas ionsen
dc.subjectgallium.en
dc.titleStudium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIScs
dc.title.alternativeInteraction of the noble gas ions and gallium with surfaces and thin layers studied by Low Energy Ion Scattering LEISen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2019-06-18cs
dcterms.modified2019-06-20-09:58:38cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid117422en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 08:48:51en
sync.item.modts2025.01.15 20:05:02en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.21 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_117422.html
Size:
10.39 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_117422.html
Collections