Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) | cs |
but.defence | Po otázkáých oponenta bylo dále diskutováno: Jakým způsobem se řeší interakční potenciál v případě větších energií jako je u RBS? Jakým nejjednoduším způsobem by bylo možné zavést stínění interakčního potenciálu? | cs |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Průša, Stanislav | cs |
dc.contributor.author | Chmelický, Martin | cs |
dc.contributor.referee | Caha, Ondřej | cs |
dc.date.created | 2019 | cs |
dc.description.abstract | Tato diplomová práce se věnuje studiu interakce iontů helia, neonu, argonu a galia s grafenovou vrstvou. Při zpracování grafenu fokusovaným galiovým svazkem (FIB) však dochází ke kontaminaci grafenové struktury galiovými ionty a následně dochází k ovlivnění jeho vlastností, např. snížení elektrické vodivosti. Cílem práce je ověřit působení vybraných iontových svazků na strukturu grafenu a vybrat vhodný iontový svazek k jeho odprašování. Dále byla navržena a realizována konstrukční úprava vyhřívací paletky pro analýzu vzorků v zařízení pro nízkoenergiový rozptyl iontů LEIS – Qtac 100, který je připojen ke komplexní aparatuře pro depozici a analýzu nanostruktur SPECS. Tato modifikace umožňuje studium chování vybraných nanočástic na vhodné podložce za zvýšené teploty. | cs |
dc.description.abstract | In this thesis we study the interaction of helium, neon, argon and gallium ions with graphene. The graphene structure is contaminated with gallium ions during the graphene processing by focused gallium beam (FIB). The graphene properties are affected, e.g. reducing the electrical conductivity. The aim of this thesis is to verify the effect of selected ion beams on the graphene structure and select suitable ion beam for sputtering. Furthermore, the modification of standard heating stage used in LEIS instrument (Qtac 100) was designed and implemented. The LEIS instrument is connected to the complex UHV system for deposition and analysis of nanostructures – SPECS. This modification allows analysis of selected nanoparticles on suitable substrate at the elevated temperature. | en |
dc.description.mark | B | cs |
dc.identifier.citation | CHMELICKÝ, M. Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019. | cs |
dc.identifier.other | 117422 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/179111 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | LEIS | cs |
dc.subject | grafen | cs |
dc.subject | vyhřívací paletka | cs |
dc.subject | žíhání | cs |
dc.subject | in-situ analýza | cs |
dc.subject | FIB | cs |
dc.subject | ionty inertních plynů | cs |
dc.subject | galium. | cs |
dc.subject | LEIS | en |
dc.subject | graphene | en |
dc.subject | heating stage | en |
dc.subject | annealing | en |
dc.subject | in-situ analysis | en |
dc.subject | FIB | en |
dc.subject | inert gas ions | en |
dc.subject | gallium. | en |
dc.title | Studium interakce iontů inertních plynů a galia s povrchy a tenkými vrstvami pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS | cs |
dc.title.alternative | Interaction of the noble gas ions and gallium with surfaces and thin layers studied by Low Energy Ion Scattering LEIS | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | masterThesis | en |
dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2019-06-18 | cs |
dcterms.modified | 2019-06-20-09:58:38 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 117422 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.27 08:48:51 | en |
sync.item.modts | 2025.01.15 20:05:02 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Inženýrský | cs |
thesis.name | Ing. | cs |