Testování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní cely

Abstract

Táto práca sa zaoberá vývojom a návrhom efúznej cely umožňujúcej depozíciu rôznych materiálov smerom nadol. Cela bude umiestnená v ultravákuovom elektrónovom mikroskope (UHV-SEM) vyvíjanom vo firme TESCAN v spolupráci s Ústavom fyzikálneho inžinierstva. Teoretická časť práce sa venuje okrem popisu elektrónového mikroskopu aj jeho ďalším častiam, ktoré budú používané pre prípravu a analýzu nanoštruktúr. Súčasťou práce sú taktiež prvé merania elektrónovým mikroskopom, ich cieľom bolo stanovenie vplyvu vibrácií na zobrazovanie.This work focus on the development and the design of the effusion cell that is able to deposit different materials in downward orientation. The Cell itself should be placed into the ultra-vacuum microscope (UHV-SEM) developed in TESCAN company in the collaboration with Institute of Physical Engineering. Theoretical part is devoted to the description of the electron microscope and its, in the future installed, parts, which will be used for the preparation and the analysis of the nanostructures. In this work, the first measurements with the electron microscope are presented, and the influence of mechanical vibrations to image quality is discussed.