Testování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní cely

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykslovenština (Slovak)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrsk
dc.contributor.authorŠárközi, Rudolfsk
dc.contributor.refereeMach, Jindřichsk
dc.date.accessioned2018-10-21T17:12:47Z
dc.date.available2018-10-21T17:12:47Z
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractTáto práca sa zaoberá vývojom a návrhom efúznej cely umožňujúcej depozíciu rôznych materiálov smerom nadol. Cela bude umiestnená v ultravákuovom elektrónovom mikroskope (UHV-SEM) vyvíjanom vo firme TESCAN v spolupráci s Ústavom fyzikálneho inžinierstva. Teoretická časť práce sa venuje okrem popisu elektrónového mikroskopu aj jeho ďalším častiam, ktoré budú používané pre prípravu a analýzu nanoštruktúr. Súčasťou práce sú taktiež prvé merania elektrónovým mikroskopom, ich cieľom bolo stanovenie vplyvu vibrácií na zobrazovanie.sk
dc.description.abstractThis work focus on the development and the design of the effusion cell that is able to deposit different materials in downward orientation. The Cell itself should be placed into the ultra-vacuum microscope (UHV-SEM) developed in TESCAN company in the collaboration with Institute of Physical Engineering. Theoretical part is devoted to the description of the electron microscope and its, in the future installed, parts, which will be used for the preparation and the analysis of the nanostructures. In this work, the first measurements with the electron microscope are presented, and the influence of mechanical vibrations to image quality is discussed.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationŠÁRKÖZI, R. Testování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní cely [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other84020cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/41214
dc.language.isoskcs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectUHV komorask
dc.subjectskenovací elektrónový mikroskopsk
dc.subjectfokusovaný iónový zväzoksk
dc.subjectefúzna celask
dc.subjectkalíšoksk
dc.subjectdepozíciask
dc.subjectnanoštruktúry.sk
dc.subjectUHV chamberen
dc.subjectscanning electron microscopyen
dc.subjectfocused ion beamen
dc.subjecteffusion cellen
dc.subjectcrucibleen
dc.subjectdepositionen
dc.subjectnanostructures.en
dc.titleTestování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní celysk
dc.title.alternativeTesting of the new UHV scanning electron microscope and design of its effusion celen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-24cs
dcterms.modified2015-06-25-09:26:25cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid84020en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 15:12:58en
sync.item.modts2021.11.12 14:30:03en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.14 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
170.62 KB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_84020.html
Size:
10.69 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_84020.html
Download
Collections
2015