Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Jaké výhody má bismutový zdroj? Jakou přesnost má EDX měření? V grafech ji neuvádíte. Co je třeba znát u LEIS pro kvantitativní analýzu? | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Bábor, Petr | cs |
| dc.contributor.author | Staněk, Jan | cs |
| dc.contributor.referee | Šik, Ondřej | cs |
| dc.date.created | 2019 | cs |
| dc.description.abstract | Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních vlastností, nedokáže potlačit tzv. matricový efekt, který činí kvantifikaci dat velice obtížnou. Vůči tomuto efektu je naopak imunní metoda LEIS, proto je vhodným doplněním metody SIMS. Jako vyhovující vzorek k porovnání byly vybrány vzorky AlGaN o různých koncentracích galia a hliníku. V první části práce je představena fyzikální podstata obou metod, experimentální sestavy a zkoumané vzorky. Ve vlastní části práce jsou pak popsána jednotlivá měření, porovnány data získaná výše zmíněnými metodami. | cs |
| dc.description.abstract | This thesis studies comparison and connection of two spectrometric methods – low energy ion scattering spektrometry (LEIS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). SIMS method, despite its many positive qualities, suffers of so called matrix effect, which makes quantifiaction of data very difficult. LEIS method on the other hand is immune to this effect and so it’s suitable completion of SIMS method. As a convenient sample have been chosen AlGaN samples with various concentration of gallium and aluminium. In the first part of thesis is introduced physical essence of SIMS and LEIS method, experimental details and studied samples. In second part of the thesis there’s a description of measurements and comparison of data gained by each method. | en |
| dc.description.mark | B | cs |
| dc.identifier.citation | STANĚK, J. Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019. | cs |
| dc.identifier.other | 117578 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/179130 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Rozptyl nízkoenergiových iontů | cs |
| dc.subject | LEIS | cs |
| dc.subject | hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů | cs |
| dc.subject | SIMS | cs |
| dc.subject | matricový efekt | cs |
| dc.subject | analýza složení | cs |
| dc.subject | kvantifikace | cs |
| dc.subject | AlGaN | cs |
| dc.subject | Low energy ion scattering | en |
| dc.subject | LEIS | en |
| dc.subject | secondary ion mass spectrometry | en |
| dc.subject | SIMS | en |
| dc.subject | matrix effect | en |
| dc.subject | composition analysis | en |
| dc.subject | quantification | en |
| dc.subject | AlGaN | en |
| dc.title | Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS | cs |
| dc.title.alternative | Quantitative analysis of matrix elements using SIMS and LEIS methods | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2019-06-17 | cs |
| dcterms.modified | 2019-06-20-09:58:40 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 117578 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.27 08:49:04 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 22:57:36 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |