STANĚK, J. Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.
Diplomová práce se zabývá kalibrací metod LEIS a SIMS. Cílem práce bylo stanovit možnosti kvantitativního měření těmito metodami na vzorcích AlGaN s různými koncentracemi galia a hliníku. Student provedl měření a vyhodnotil získaná data. Optimalizoval parametry experimentů s cílem získat měřené koncentrace s maximální přesností. V případě metody LEIS se podařilo změřit koncentrace s chybou kolem 5%. U metody SIMS jsou výsledky nepřesvědčivé. Studentův časový plán prací měl velké mezery, ale nakonec se mu zadání podařilo naplnit. Hodnotím tuto práci stupněm B.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | B | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | C |
Autor se ve své práci zabýval srovnáním tvou analytických metod LEIS a SIMS u ternárního polovodiče AlGaN o různých stechiometrických poměrech. Stechiometrie byla potvrzena prověřenou, kvantitativní metodou EDS. V obsáhlé úvodní části autor zmiňuje fyzikální podstatu obou analytických metod a plynule přechází k popisu jednotlivých spekter, např. autor vhodně demonstruje vliv nečistot na etalonovém vzorku telluru při použití metody LEIS. Experimentální část poukazuje na fakt, že metoda LEIS je méně náchylná na matricový jev. Autor se u metody SIMS snažil tento jev co nejvíce potlačit, ale nedospěl k výsledkům blížícím se metodě LEIS. Ze závěrů práce také plyne velká náchylnost metody LEIS na povrchovou kontaminaci. Student navrhl způsob, jak snižují nepřesnost měření: Nevyužít hlavní peaky, ale kvantifikaci provézt z „ocasů“ píků, které nesou informaci z větší hloubky. Na první pohled mě na práci zaujalo čtyřúrovňové číslování kapitol, což mi, vzhledem k rozsahu práce, nepřijde nejvhodnější. Textové pole obsahu DP je pouze tříúrovňové. Jazyk práce je svérázný, ale nevyskytuje se v něm mnoho překlepů či gramatických chyb. Zpočátku autor opakovaně používá výčet jednotek a jejich vysvětlení následuje oddělením slovem „resp“ a při opakovaném použití této formulace se čtenář v textu ztrácí. V kapitole 2.2.1.2 „Volba geometrie a projektilů“ (str. 5), se autor zmiňuje, že odpovědí pro volbu správného projektilu je „kinematický faktor“. Postrádám ale jeho definici. Tím pádem se Obr. 3a a zejména Obr. 3b stávají pro čtenáře velmi obtížně pochopitelné. Pro obě ověřované metody je velice důležitá definice hmotnosti „u“ a ta není v práci obsažena. V kapitole o SIMS by bylo vhodné zmínit vliv volby kyslíkového či bizmutového prim. iontového zdroje detekovatelnost různých prvků/izotopů, v konkrétně Al, Ga a N. V praktické části věnované LEIS autor demonstruje částečné očištění vzorků odprašováním a atomárním kyslíkem. Systematicky popisuje proceduru optimalizace dat, vedoucím k výsledkům velmi blízkým datům z EDS. Podkapitola věnovaná SIMS dokládá, že postup vyjádření stechiometrických poměrů u AlGaN nelze použít. Autor zmiňuje, že použil tutéž metodiku optimalizace jako u LEIS. To mi přijde docela matoucí. To také odečítal data z postranních laloků píků naměřených metodou SIMS? Závěr shrnuje to, čeho autor ve své práci dokázal. Zejména zpracování výsledků a zacházení se vzorkem v případě LEISu jsou velmi zdařilá. Myslím ale, že možnosti metody SIMS mohl student prozkoumat důkladněji, například nakloněním vzorku tak, aby byl kolmo iontovým zdrojům. Přesto vše práce poskytuje spousty zajímavých námětů a informací, zejména o ne příliš rozšířené metodě LEIS. Práci doporučuji k obhajobě se známkou B.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | B | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | B | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | C | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 117578