Komplexní iontová analýza složení antikorozních vrstev

Abstract

Předložená diplomová práce se zabývá implementací metody rentgenové emisne indukované částicemi do experimentálního uspořádání za účelem doplnění rodiny metod založených na iontových technikách, tj. Rutherfordovy zpětné rozptylové spektrometrie, spektrometrie elastického zpětného rozptylu a analýzy detekce doby letu/energie elastického odrazu. Výhoda více-metodického přístupu je demonstrována na vrstvách ze slitin přechodných kovů obsahujících lehké prvky, kde samo-konzistentní analýza poskytuje výrazně zlepšené a přesné informace o stechiometrii, hloubkovém rozložení a tloušťce slitiny. Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů je použita pro porovnání a doplnění získaných výsledků.Presented master’s thesis deals with the implementation of the Particle Induced X-ray Emission method in the experimental setup with the aim to supplement the family of ion beam based techniques, i.e. Rutherford Backscattering Spectrometry, Elastic Backscattering Spectrometry and Time-of-Flight/Energy Elastic Recoil Detection Analysis. The advantage of a multi-method approach is demonstrated on the transition metal alloy films containing light species, where the self-consistent analysis yields significantly improved and accurate information about stoichiometry, depth distribution and thickness of the alloy. Secondary Ion Mass Spectrometry is employed to compare and complement the obtained results.