Diagnostika bariérových vlastností tenkých vrstev
Loading...
Date
Authors
Horák, Jakub
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
ORCID
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na charakterizaci vlastností tenkých SiOx vrstev připravených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Vrstvy byly charakterizovány s ohledem na budoucí možné použití pro ochranu muzejních archiválií proti korozi. Jako výchozí látka pro depozici byl použit kapalný hexamethyldisiloxan a testovacím substrátem pro charakterizaci vlastností vrstev byly polypropylénové fólie a křemíkové substráty. Pro korozní zkoušky pak byly zvoleny kovové plechy. Pro charakterizaci vrstev byly použity metody měření permeační rychlosti kyslíku (OTR), infračervená spektroskopie s Fourierovou transformací (FTIR), skenovací elektronová spektroskopie (SEM), rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS), elipsometrie a jednoduché korozní testy kovových plechů nepovlakovaných a povlakovaných tenkými vrstvami SiOx.
This thesis is focused on characterization of the SiOx thin layers properties prepared by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). The layers were characterized with regard to its future possible use for the protection of the museum archives against the corrosion. Liquid hexamethyldisiloxane was used as a precursor. Polypropylene foils and silica wafers were used as substrates for thin film preparation. Metal sheets were chosen for corrosion tests. Methods such as permeation rate measurement (oxygen transmission rate - OTR), Fourier transformation infrared spectroscopy (FTIR), scanning electron microscopy (SEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), ellipsometry and simple corrosion tests of steel sheets coated and uncoated by SiOx thin layer were used for the layer properties characterization.
This thesis is focused on characterization of the SiOx thin layers properties prepared by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). The layers were characterized with regard to its future possible use for the protection of the museum archives against the corrosion. Liquid hexamethyldisiloxane was used as a precursor. Polypropylene foils and silica wafers were used as substrates for thin film preparation. Metal sheets were chosen for corrosion tests. Methods such as permeation rate measurement (oxygen transmission rate - OTR), Fourier transformation infrared spectroscopy (FTIR), scanning electron microscopy (SEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), ellipsometry and simple corrosion tests of steel sheets coated and uncoated by SiOx thin layer were used for the layer properties characterization.
Description
Keywords
OTR , HMDSO , plasma polymer , tenká vrstva , bariérové vlastnosti , OTR , HMDSO , plasma polymer , thin layer , barrier properties
Citation
HORÁK, J. Diagnostika bariérových vlastností tenkých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. .
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Spotřební chemie
Comittee
prof. Ing. Martina Klučáková, Ph.D. (předseda)
prof. Ing. Boleslav Taraba, CSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Vítězslav Otruba, CSc. (člen)
prof. Mgr. Martin Vala, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Michal Veselý, CSc. (člen)
Date of acceptance
Defence
Otruba – Jak byly očištěny železné podložky pro korozní zkoušky před nanesením polymerní vrstvy?
Vala – Jaké byly požadavky na propustnost kyslíku tenkých polymerních vrstev vytvořených z hexamethylsiloxanu?
Taraba – Jaká chyba je v schématu na obr. 3 a FTIR spektru na obr. 20?
Veselý – Jaká musí být tloušťka měřených vrstev pro techniku OTR?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena