Depozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBAD

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorDvořák, Petrcs
dc.contributor.authorHudeček, Jancs
dc.contributor.refereePavera, Michalcs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:13:49Z
dc.date.available2019-11-27T20:13:49Z
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractPředkládaná bakalářská práce se zabývá návrhem a konstrukcí nového transportního držáku paletky, která je určena pro depoziční aparaturu ústavu fyzikálního inženýrství, nazývanou jako „Kaufmann.“ Aparatura slouží k depozici tenkých vrstev pomocí iontového naprašování. Úvodní kapitoly práce pojednávají o možnostech výroby tenkých vrstev, způsobu jejich růstu a úvodu do problematiky fyziky vakua a vakuových zařízeních. Následující kapitola je věnována stávající depozici a stávajícímu depozičnímu zařízení Kaufmann. V další kapitole je popis konstrukčního řešení nového držáku paletky a paletky samotné spolu i s příslušenstvím. Poslední kapitola je věnována kalibraci a optimalizaci depozice s novou paletkou.cs
dc.description.abstractThe submitted bachelor’s thesis are dealed with concept and design of holder of new palette, which is determine for deposition equipment, which belongs to institue of physical engineering and which is called as Kaufmann. Introductory chapters of bachelor’s thesis deals about possibilities of production of thin films, ways of growth of thin films and introduction to vakuum physics. Next chapter is given to current deposition and current deposition equipment Kaufmann. In the next chapter are descriptions of construct solution of holder of new palette and construct solution of palette. The last chapter is given to calibration and optimalization of deposition with new palette.en
dc.description.markEcs
dc.identifier.citationHUDEČEK, J. Depozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBAD [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other82712cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/40647
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectIontové naprašovánícs
dc.subjectIBADcs
dc.subjectIBScs
dc.subjectdepozice tenkých vrstevcs
dc.subjectIon sputteringen
dc.subjectIBADen
dc.subjectIBSen
dc.subjectthin film depositionen
dc.titleDepozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBADcs
dc.title.alternativeThe deposition of thin films by the ion sputtering IBS/IBADen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-24cs
dcterms.modified2015-06-25-09:26:26cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid82712en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 09:04:26en
sync.item.modts2021.11.12 08:16:34en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.39 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
1.14 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_82712.html
Size:
10.55 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_82712.html
Download
Collections
2015